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脉冲激光沉积法室温下ZnO薄膜的制备和表征.pdfVIP

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  • 2015-09-06 发布于安徽
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脉冲激光沉积法室温下ZnO薄膜的制备和表征.pdf

    真 　空 　科 　学 　与 　技 　术 　学 　报 第 25 卷 　第 4 期 256 　　　　　　　　　　　 ( ) 　　　　　　 JOURNAL OF VACUUM SCIENCE AND TECHNOLOGY CHINA 2005 年 7 、8 月 　 脉冲激光沉积法室温下 ZnO 薄膜的制备与表征 曹亮亮 　叶志镇 　张 　阳 　朱丽萍 　张银珠 　诸葛飞 　赵炳辉 (浙江大学硅材料国家重点实验室 　杭州 　310027) Room Temperature Growth and Characterization of

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