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透明导电薄膜在不同衬底上的性能对比研究 1，2 2 3 3 3 3 陆 峰 ，徐成海 ，闻立时 ，曹洪涛 ，裴志亮 ，孙 超 （1. 沈阳建筑大学交通与机械工程学院，辽宁 沈阳 110 168 ；2 . 东北大学机械工程与自动化学院， 辽宁 沈阳 110004 ；3. 中国科学院金属研究所，辽宁 沈阳 1100 15 ） ［摘 要］ 为了对比研究不同透明衬底上ZnO ：Al （ZAO ）薄膜的性能，采用直流反应溅射法制 备薄膜，并对其作EDS 、XRD 和电学测试分析。结果表明：所制备的ZAO 薄膜具有典型的ZnO 晶体 结构；沉积在玻璃基片上的ZAO 薄膜，Al ，O 含量高于沉积在透明聚酯塑料基片上的，而Zn 的含量则 相反；在两种衬底上获得的ZAO 薄膜电阻率分别为4 . 5 X 10 - 4 ! ·cm 和9 . 73 X 10 - 4 ! ·cm ，可见光 透射率分别达到87 . 7 ! 和81. 5 !。由此可见：用直流反应磁控溅射法在不同衬底上都