微电子机械系统的尺寸效应.pdfVIP

西安理工大学学报 y ()##* -)# -) + xYL]NMcYaWQMNTNQ[\]^Q_‘Ya5\bXNYcYO‘ zYc JY 文章编号!##$%’#()##*#)%#+%# 微电子机械系统的尺寸效应 ,) ) 韩光平 刘 凯 王秀红 , , 西安理工大学 机械与精密仪器工程学院 陕西 西安 郑州航空工业管理学院 河南 郑州 (- , ’##./)- , +##+* 摘要 针对微电子机械系统 在特征尺寸处于微米量级时呈现的特性与宏观机械不 ! ( * 0102 同 阐述了尺寸效应对 基础理论研究的重要意义 研究了尺寸的相对性 绝对性以 , 0102 3 4 及尺寸效应的基本概念 讨论了几何尺寸效应和力尺寸效应以及其他一些重要物理量的尺 , 寸效应 提出了广义尺寸效应及狭义尺寸效应 为 创新设计及基础理论的系统性研 , , 0102 究提出一个新的切入点3 关键词 微电子机械系统 尺寸效应 相对性 绝对性 微机械 ! / / / / 中图分类号! ) 文献标识码! 56 7 89:;==;?9@A9BCD;?BCA;EF@9FD8GH?;I ,) ) % , , % 67J KLMNOPQNO RST UMQ V7JK WQLXYNO (- , ’##., /)- WQZMNTNQ[\]^Q_‘Ya5\bXNYcYO‘ WQZMN dXQNM eX\NOfXYLSN^_Q_L_\ , +##+, * Ya7\]YNML_QbMcSNgL^_]‘0MNMO\h\N_eX\NOfXYL dXQNM ! , ijH?BF? 5X\QhPY]_MNb\Ya^Qf\\aa\b_QN0102kM^Qb]\^\M]bXQ^gQ^bL^^\g MQhQNOM__X\ , , gQaa\]\Nb\k\_l\\NhQb]YhMbXQN\ lXY^\bXM]Mb_\]Q^_Qb^Qf\Q^YN_X\Y]g\]YahQb]YN^ - MNghMb]YhMbXQN\ m\cM_Q[Q_‘MNgMk^YcL_\N\^^Ya^Qf\MNg^Qf\\aa\b_bYNb\P_M]\QN[\^_Q% ,