微纳机电系统中的毛细黏附作用.pdfVIP

R盛盛 微／纳机电系统中的毛细黏附作用 朱豫晋1，梁新建2，金磊2 1．中国人民解放军总装备部综合计划部装备财务局，北京10008l 2．北京理工大学机电学院，北京100081 摘要毛细作用在所有尺度中都存在，但是在微／纳尺度下尤为重要。随着微／纳机电加工技术的迅速发展及深入研究，微／纳机电器 件得到广泛应用。在微／纳机电器件的加工和使用过程中。毛细黏附作用影响其可靠性。进而影响微／纳机电器件的商品化。鉴于毛 细黏附问题对微／纳机电器件性能的重要影响．本文综述毛细黏附力对微／纳机电系统器件性能的影响效果，微／纳尺度的毛细黏附 力作用规律。以及毛细黏附控制技术。 关t词微／纳机电系统；毛细黏附；毛细黏附控制技术 中圈分类号TN306 文献标识码A 文章编号1000_7857(2009)02一0099—03 StictionActionin 的导管就是植物体内的极细的毛细管，它能把土壤里的水分 Capilary 吸上来。砖块吸水、毛巾吸汗、海绵吸水、湿头发会成束、粉笔 theMEMS／NEMS 吸墨水都是常见的毛细现象。在这些物体巾有许多细小的孑L zHu Lei2 道，起着毛细管的作用。水沿毛细管上升的现象，对农业生产 Yujinl，LIANGxinjian2，JIN 的影响很大。土壤里有很多毛细管．地下的水分经常沿着这 Pf∞凡i，lg 1．肋u咖僦m凡凡田配e曰“re吗co唧re丘e瑚面e ArH㈣m PLA， 些毛绌管上升到地面上来。如果要保存地下的水分，应当锄 DepnnH∞m，GeMrdDep(1rtfmm?f 松地面的土壤，破坏土壤表层的毛细管，以减少水分的蒸发。 ＆驴i昭』ODD8J，醌iM 毛细现象在所有尺度中都存在．但是在微／纳尺度下，结构 2．胁c^∞如以Ⅲz E如c￡廊以co肌e伊，胁哲i昭‰疵Ⅱ把0， |、日J的液桥现象尤为重要m。当少量液体被吸附在间距足够小的 Joo∞j，蕊讹 死c^釉fogy，眈巧西w 两个固体表面时，液桥现象就出现了。液桥现象在很多情况下 都能发生口。例如，在原子力显微镜(AFM)的球形探针和被测物 体表面问存在少量小液滴，就会形成液桥日。扫描力显微镜 actionexistsonaJl is A瞻呐喊 scales，bm C印i11ary particul盯ly (SFM)的探针和样本问的水薄膜或其他液体薄膜也会形成液 micronanoscale．W曲the arId impor【ant佣lhe rapiddevelopment 桥阀。这些功能强大的工具已用于观察纳米级和原子尺度物体 oftheMEMS，NEMS MEMS，NEMS in—d。pthstIldy technology，the deviceshavefound埘de 1nth。 and 的表面形貌．此时．不可避免地要研究微纳米尺度的液桥问