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微细光成型固化工艺参数优化.pdf
第15卷第4期 光学精密工程 V01.15No.4
andPrecision
2007年4月 ()ptics Engineering Apr.2007
文章编号 1004—924X(2007)04一0453一07
微细光成型固化工艺参数优化
王 翔,赵 钢,马德盛,黄文浩
(中国科学技术大学精密机械与精密仪器系,安徽合肥230026)
摘要:为了分析紫外光对液态光敏树脂进行曝光固化成型过程中工艺参数对固化物的形状和精度的影响,根据自行研制
的实验系统的大量数据,对线形固化中的主要工艺参数进行了分析和优化。结果表明,在单层液态树脂膜厚30扯m,曝光
光束功率o.15
pw,扫描速度15弘m/s以及工作距650pm时能够得到具有较高精度线宽和线高的固化直线段,利用优
化的工艺参数,成功实现了三维微小实体结构的成型制造。
关键词:微细加工;微细光成型;光固化;工艺优化
中图分类号:TN305.7文献标识码:A
of in戚crostereo
optiIIlizationsolidificati眦p珈日essp砌捌meterS lith噬即phy
WANG UANGWen-hao
Xiang,ZHAOGang,MADe—sheng,H
o,
230026,C冼i咒n)
SciP7zcgTPe^咒oZogyo厂C^i咒n,HP歹0i
ontheeffectof onthe and ofs01idificationin
Abstract:For
analysis processparametersshapeprecision
resinsolidificationwithUV mainso“dification
photosensitive lightexposing,the processparameters
are and basedonthe data self_made The
analyzedoptimized experimentgotby equipment.highpreci—
sionsolidifiedqineisabtainedinthethicknessofa of resinof
single1ayerliquid 30肚m,theexposing
of0.1 of1 andthe between lensand
power scanningspeed working1ength objective
5肛W,the 5弘m/s
surfaceofresinof6 Withthe microstructuresaremanufac—
50“m. optimizedprocessparameters,3D
tured
successfully.
words:microfabrication;microstereo
Key
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