微细电火花伺服扫描加工实验研究.pdf

设计·研究 《电加工与模具》 年第 期 2006 3 微细电火花伺服扫描加工实验研究 1 2 2 1 佟 浩 ，李 勇 ，崔 晶 ，王 扬 （ 哈尔滨工业大学机械制造及自动化系，黑龙江哈尔滨 ； 1. 150001 2. 清华大学精密仪器与机械学系制造工程研究所，北京 100084 ） 摘要：进行微细电火花三维扫描加工时，由于电极损耗相对严重，导致形位公差难以保证和加 工效率较低。该研究分析了电火花加工常规的电极损耗补偿方法，提出了基于放电间隙伺服控制 进行电极损耗实时补偿的微细电火花三维扫描加工方法。辅助以电极电接触感知工件平面和加工 原点，三维结构加工实验显示，采用间隙伺服控制进行电极损耗实时补偿有利于提高扫描加工微三 维结构的形位精度和加工效率。 关键词：微细电火花加工；扫描加工；电极损耗；间隙伺服控制 中图分类号：TG661 Experimental research on serVo scanning Machining TechniIue of Micro EDM 1 2 2 1 ， ， ， Ton ~ao Li Yon CuiJin Wan Yan g g g g g （ ， ， ； 1. ~arbin instituteof Technolo ~arbin 150001 China gy ， ， ） 2. Tsin huaUniversit Beiin 100084 China g y j g ： （ ）， Abstract in 3D scannin rocessof micro electro dischar e machinin micro EDM the ma- g p g g chinin efficienc and eometrical tolerance are difficult to be uaranteed due to the serious electrode g y g g wear. Basedon theinvesti ation of electrodewear com ensatin methodsfor EDM，a real-timecom- g p g