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提高液体中AFM微悬臂梁品质因数的研究.pdf
第 卷 第 期 西 安 工 业 学 院 学 报
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年 月
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文章编号： （ ）
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提高液体中) * + 微悬臂梁品质因数的研究!
房 轩，李艳宁，王艳霞，唐 洁，傅 星，胡小唐
（天津大学 精密测试技术及仪器国家重点实验室，天津(%’ ）
摘 要： 提出了一种能够把在液体环境中工作的原子力显微镜（ ）的微悬臂梁的低
),-./0 *-102 +/01-30-45
品质因数提高二个数量级的方法 这是通过一个正反馈环路实现的，同时采用一个锁相环（ ）
6 78932 :-0; :--4
来监控微悬臂梁谐振频率并产生一个驱动信号 使用可变移相器和可变增益放大器对微悬臂梁振荡信号进
6
行调节，调节后的信号也加入到驱动信号中6 从而提高了原子力显微镜的动态力灵敏度和分辨力6
关键词： 原子力显微镜；微悬臂梁；品质因数；表面形貌
中图号： = ! 文献标识码： )
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