太阳电池中CdTe多晶薄膜沉积制备及其性能.pdfVIP

维普资讯 第 37卷 第2期 四川 大 学学 报 (工 程科 学 版 ) Vo1．37No．2 213O5年3月 JOURNAlOFSICHUANUNIVERSITY(ENGINEERINGSCIENCEEDrlION) MKr2oo5 文章编号：1009．3087(2005)02—0059．04 太阳电池中CdTe多晶薄膜沉积制备及其性能 郑华靖 ，张静全 ，冯 良桓 ，蔡 伟 ，郑家贵 ，谢二庆 (1．’州大学 物删科学与技术学院，¨‘¨ H730030；2． 川大学制料科学 -L程学院， I成都610065) 摘 要：在氩氧混合气氛下近空间升华技术(CSS)制备CdTe多晶薄膜中，薄膜的结构 、性质决定于整个沉积过程 深入研究沉积过程中的热交换、物质输运，有助于制备薄而致密的具有进行 良好光电性质CdTe薄膜 ．通过分析近 空间沉积的物理机制，测量近空间沉积装置内温度分布，对升温过程 、气压与薄膜初期成核的关系进行讨论。研究 结果表明，不同气压下制备的样品，均有立方相CdTe，此外，还有CdS和 sn02：F衍射峰，CdTe晶粒随气压增加有减 小趋势；随气压的增加．透过率呈下降趋势，相应的CdTe吸收边向短波方向移动。在此基础上制备出转换效率优 良的结构为SnO2：F／CdS／CdTe／Au的串联集成电池。 关键词：CdTe；近空间升华(css)；多晶薄膜；太阳电池 中图分类号：TK511．4 文献标识码：A ThePreparationandPropertiesofCdTePolycrystallineFilmsforSolarCells ZHENGHua-jing一，ZHANG．1ing。quart，FENGLiang—huan，CAIWei，ZHENG 一gui，XIEEr-qing (1．SchoolofPhysicsSciandlech．．1~a：onUniv．，l~Maou730000，China；2．Sch~sJIofMaterialsSci．andEng．，SichuanLrliv．，Che％du610065．China Abstract：ThestmctureandpropertiesofCdTethinfilmsaredependentonthewholedepositionpro~e‘ssinclosed—sf】d【。( sublimation(CSS)inArgon—basedatmosphere．Inthispaper，thephysicalmechanismofCSSwasana1)zed，thetempera— turedistributioninCSSsystem Was measured，andhtedependenceofpreliminarynucleuscreationonincreasing—tempera— ture processandpressurewasstudied．Theresuhsshowedhtatthesamplesdepositinginhtedifferentpressureareall CdTewithcubicalstructureandhavehtediffractionpeaksofCdSandSn02：F．Followingthegaspressureinc—Ieasing， thecrystalsizeofCdTedecreases．山erateofthetransparencyofhtehtinfilm goesdownnadhteabsorptionsidefacesto hteshort。wavedirection．Th eintegratedsolarcellsofbetterconversionefficiencyinconfigurationofSn02：F／CdS／CdTe／ Auwasprepared． Keywords：CdTe；close—spacedsublimation(CSS)；polycrystallinehtinfiml；solarcells