垂直腔表面发射式激光器阵列与带状光纤阵列的耦合技术.pdfVIP

· 42 · 科技论坛 垂直腔表面发射式激光器阵列与带状光纤阵列的 耦合技术 白 春 肖石林 (上海交通大学电子信息与电气工程学院，上海 200000) 摘 要：本文对垂直腔表面发射式激光器阵列与带状光纤阵列的耦合技术，做 了系统地介绍，并对各个技术的优缺点，及未来的发展 方 向做 了说 明。 关键词 ：垂直腔表面发射式激光器；带状光纤；VCSEL；FiberArray 1概述 精度，相比2．1，要求更加严格 ，传统的冷加工：I二艺已无法达到所需 垂直腔表面发射式激光器 (VerticalChamberSurfa~ Emitting 的精度 ，而需要精度更加精确的激光切割设备，投资巨大。而且，由 Laser． ， VCSEL)是光从垂直于半导体衬底表面方向出射的一种半导 于单次耦合的限制，各通道问的调整范围较小 ，各通道间的性能均 体激光器，具有模式好 、阈值低 、稳定性好、寿命长、调制速率高 、集 匀性难 以保证 。 成高、发散角小 、耦合效率高 、价格便宜等很多优点，非常适合应用 23采用 自聚焦透镜阵列的技术 在并行光传输 以及并行光互连等领域。而VCSEL阵列能否与带状 在2．1，2．2节，我们都了解了基本的耦合技术，但它们都是直接 光纤阵列进行高效率、高可靠性、低成本的耦合，是 目前制约并行光 耦合技术，也就是说将激光光束直接耦合进入光纤中。由于光纤的 互连发展的一道难题 。 有效耦合直径仅仅只有 50um左右 ，所 以说难度较大 ，也非常难以 2垂直腔表面发射式激光器阵列和带状光纤阵列的耦合技术 保证耦合的性能。采用 自聚焦透镜阵列技术进行的耦合我们称作间 下面我们就对这些主要的技术方案做一下探讨，并分析各 自的 接耦合 ，它是通过 自聚焦透镜阵列将激光光束进行扩束，然后再经 优劣。同时，我们可以在这些技术方案的基础上，总结经验，获得启 过一个 自聚焦阵列进行收束，已达到耦合的目的，由于扩束后 ，光束 发。 的直径大大增加 (一般在250um左右)，所以耦合的难度大大降低 ， 2．1采用 45。棱镜的技术 并且耦合后的光学性能得到了提升。 垂直腔表面发射式激光器的光束是垂直与基板的，而受限于使 当然，这种结构也带来了一定的成本上升，而且由于节距的问 用领域的尺寸，我们往往没有足够的空间在垂直与基板的方向上进 题 ，各个零部件之问都保持着一定的工作距离，这对后续产品的小 行直接耦合，这就需要我们对激光光束进行90。的方向转变。最简 化产生了障碍，而且通光面暴漏在空气中，长期使用中灰尘有可 单的激光光束角度转变的方法即是采用 45。棱镜的技术 ，激光光 能进入 ，会导致性能变差甚至失效，而完全的真空封装，难度很大 ， 束经过反射后，在垂直与入射方向射出。图1所示就是采用 45。棱 且费用较高。 镜的耦合技术。 3耦合技术的发展方向 首先，直接耦合会得到越来越多的应用，间接耦合会被逐步淘 汰。目前 ，之所以问接耦合技术仍在部分使用，主要的驱动力是零件 @ 的加工要求低以及耦合的速度较快。但是，由于间接耦合 自身的一 些缺陷，以及加工技术及 自动化耦合平台的不断发展，间接耦合技