Ti离子注入及其后续热处理对镀膜光学玻璃性能的影响.pdfVIP

Ti离子注入及后续热处理对镀膜光学玻璃性能的影响 刘明源1，陈敏2，王继红2，牟宗信3 (1．上海交通大学材料学院．上海200030；2．大连轻工业学院材料系．辽宁大连116034； 3．大连理工大学三柬国家重点实验室t辽宁大连t16050) 摘耍：本论支主要研究了Ti离子注入覆后童羹熟处 玻璃表面膜层是由Z,n,02和M庐2组成的多层 理叶撞腱光学玻璃各种袁面性能的影响．将n岛子 膜． 以不同的荆t．能量注入到垃膜光学白托片裹面． 在离子注入前，l羊品用丙酮、酒精，去离子水 洲定了样品在注八前后及热处理前后紫外残吸收 进行反复清洗，最后使其自然干燥。 谱、折射率和膜犀、显擞硬度等的变化，探讨7注 2．2实验方法 t 八剂量，注八托量与懒健驻璃表面性牲的变化关系． 采用MEVVAS0-10型离子注入机进行_n离子 关键词：离子注^；镀胰光学玻璃；襄面性能 注入嗍，注入能量分别为40和50keV．剂量为 1×10”、I×10”和1x10”ions／cm2． 1引言 样品的热处理在退火炉中进行。由室温经ih加 热到400℃，在此温度下保温5h．然后让其自然抟 对紫外甥的吸收自E力是眼镜玻璃使用性能中的 却到室温。 一个重要方面·与玻璃镜片相比，树腊镜片有较强 利用uV·240型分光光度计测定样品对絮外线 的吸收紫外线的能力-但价格较玻璃镜片高数倍，且 的吸收能力，测试范围240—500nm．标准拌BaS0|； 易磨损．由于n02具有吸收紫外线的能力，而且在 采用TP型澈光椭咖厚仪测定样品的膜厚与折射率： 硅酸盐玻璃中以n“存在．不产生颜色-因此有可能 采用啡1000数字式显徽硬度仪测试样品的维氏 用于提高玻璃的紫外吸收。但在玻璃表面镀面q膜 硬度，压载重量509．加载时间30s． 的方法存在着膜层易脱落、易磨损等缺点．为此． 我们通过离子埋层注^的方j击．对镀膜镜片玻璃进 3实验结果与讨论 行m离子注入，以增加其对紫外线的吸收．在引入 11的同时．迁能使膜层与基体问发生原子级的混合． 3．I样品在离子注入及热处理前后的肇外光谱 加强膜层与基体的结舍力度，提高膜层的扰磨损能 从圈1中我们可以注意刭．在注入铽离子后． 力[Iq．鉴于热处理能使注入离子在玻璃中的分布、 玻璃的鬻外吸收限向着长波方向移动．这是因为在 扩散都发生改变131的作用．本文还讨论了注入后的热 玻璃中，对紫外吸收波长的主要影响是非桥氯离子． 处理对样品备表面性能的影响． 氧离子电子死层受周暖阳离子的极化作用的影响， 随阳离子半径的增加而降低．导致非桥氧离子电子 2实验材料及方法 2．1实验材料 采用的玻璃样品为塞列尔镀膜光学托力克白 片．简称光自片，折t,l,Z为1．5302．组成如表1． 裹1光托白片组成 weight惭)Atomic(％) N码0 2．07 2．5l 71．76 75．38 Si02 K20 7．49 2．5i CaO i3．39 15．07 雷I 以50keV、lxl0‘‘沁咖时n离子注入前后紫 BaO 4．端 2．11 外光谦 恸簟晰柑增刊一嘲l-10 l稍嘻 壳层结构更加琉松．从而使吸收波长增大。钛离子 加·这都会SI起玻璃折射率的提高。对于同一能量 的注入·引起了玻璃结构中氧的极化，从而使玻璃 来说，剂量越大．对膜层造成的影响程度就越太，