氮分压对氮化锆薄膜颜色的影响规律研究.pdfVIP

第 27 卷 　第 1 期 光 　学 　学 　报 Vol . 27 ,No . 1 　　　　　　 　　　　　　 　　　　　　　　　　　　　 2007 年 1 月 A C TA O P T ICA SIN ICA J anuary , 2007 文章编号 :(2007) 0 10 1774 氮分压对氮化锆薄膜颜色的影响规律研究 1 2 牛建钢 　孙维连 1 河北大学质量技术监督学院 , 保定 07 100 1 2 河北农业大学机电工程学院 , 保定 07 100 1 摘要 : 　CIElab 颜色空间坐标是氮化锆薄膜非常关键的技术指标 ,而氮分压对氮化锆薄膜颜色坐标有较大的影响。 应用中频反应磁控溅射技术沉积氮化锆薄膜 ,通过对炉内分压强和氮化锆薄膜颜色的测量 ,绘制了氮分压对 CIE 颜 色坐标 L , a , b 值的影响曲线 。发现随炉内氮分压的增大, 薄膜颜色坐标 a , b 值呈环形曲线 、L 值呈单调下降 的变化趋势 。并使用金属自由电子气模型对颜色变化趋势进行了理论分析 。发现颜色坐标的变化是由于随氮分压 ( ) 增加 , 自由电子浓度降低引起等离子体频率降低造成的。对薄膜的 X 射线衍射谱 XRD 以及电阻率测量结果的分析 表明,在氮分压较大时 ,颜色坐标 L 的明显下降变化是由于 Zr N 等的禁带宽度小于可见光谱的极限造成的。 3 4 关键词 : 　薄膜光学 ; 颜色 ; 磁控溅射 ; 金属自由电子气模型 中图分类号 : TB43 　　　文献标识码 : A Ef f ect of N i t r o ge n P a r t i a l P r e s s u r e o n Col o r of Zr N 1 2 Niu J ian gan g 　Sun Weilian 1 Col lege of Q u al i t y a n d Tech n ica l S up er visi on , Hebei U n i ver si t y , B aodi n g 07 105 1 2 Col lege of Mech a n ical Elect r on ic En gi n eer i n g , Hebei Agr ic u l t u r e U n i ver si t y , B a odi n g 07 100 1 A bs t r a ct : 　CI E 1976 LAB color sp ace coor dinat e is an imp or t ant t echnical index of ZrN film , and nit r ogen p ar tial