结构%2f功能一体化集成薄膜材料.pdfVIP

簟十二靥全目固体膏晨学术台谨 青十2010 结构／功能一体化集成薄膜材料 刘兴钊鞯洪川陈峰陈寅之张万里李言荣 Ib于薄膜!o集成器H嘲家讴^实验“．电于科技大学．成都610054 搬．为了满足鬈劣环境下隶属结均件曲址康监测需赞，本论文采用柱面i。程技术，^金辐结构件 丧Im依扶沉积由枯接艋、绝缘层、敏甚联，防护JJ￡等纰成的集成敏蝽溥腆一在不破坏金收站拇件力 学性能的曲搬下，实现结构与功能的傩化集成．性金届结构件R肯诊断#自身欹志和环境参数的 能力。作为这种结构，功能体化妊成薄膜材科的典型应用，奉立研制的薄膜应变“和薄膜热电偶已 州于航空发动})LWI片表面温度和l¨片麻力，府变的检测。 I引言 ＆硝以来．结构材料和电子信息功能材丰=}再n独自：地平行发展．虽然．电f信息功能材料已成 为现代信息时代的支柱．但结构材料仍然是各种人型T拌、机械及运蛀T具的l冲#．鲇构材{4在服 役过稗中小可避免地产生疲劳、损伤、断裂乃争破坏．斟此．对站杓证成状态的监测粤戈人咒生命 蚶产安辛…。 为r满足结构健康监测的需要．人们提出并长期致力于机敏材料和钾能结拊研究，吼期结构材 车_rj{有诊断其自身状态及环境参敛的能力．升获得了良好进展，如：果川有机．无机复合的方法， 将光纤传尊嚣埋^工程塑丰l巾．安现丁工程塑抖的机敏化…。尽管I狂甥事}已大景应用于各种现代 丁程中，但金属材科仍然是结构件的上体．因此．金属材科的机敢化非常重要。为此．^们也期望 采用复合技术实现金屉材料的机驶他，如将形状记忆台台预埋入台属材料巾．然而，因冀工艺丰日 窖性差而进展艰难…。 随着我田经济的飞进投展，飞机已经成为醺蛰的现代运载上县．1Ⅲ根据缱计：绝大部份飞机事 故均与发动机口l片的癯劳断裂有若…，闪此，对垃动机叶片惠变监测成为E机结构健康监测的重点。 然Ⅲ，山十航空整动机叶片工作在高温、高蜓、强冲击等恶劣王1=境中，到目前为止还没有可靠方法 监测发动机叶片的健康状况．通常只能果敏定期维护的方式确保其结构健康．这将不可避免地造成 巨大浪费和高昂的维护成本． 为了满足航空发动机结构健康黼测的需要．丰文描述了一种结构／功能 体化j耗成的方法．即：采用表面上程技术．在叶片发面袄狄沉较由粘接 层、绝缘层、敏缚层防护层等组成的集成被=骞薄膜．井研制成与结构件 件化j耗威的薄膜应变训和薄膜热电倡．从而使叶片本身儿有诊断其自身 状卷和环境势毁册能力．如翻l所示．测试衷嚼所研制的薄膜传癌器不 仅性能怠好，R均可耐受标准热疲劳考核．经标定后已用于叶片表面温度 和叶J{应变的检铡． 田I绪掏／n№一体化斑 2章n m■Ⅸ的构ti意目 出十叶片多为州基高温告盘制遗．奉史先栗用罐控溅射在NI基台盘叶片衷断0L积一层 NiCrAiY台盘薄腱．以提高集成{葶膜的附精力；由于AltOs具有良好的高温绝缘特性，木文以Al，O， 溥膜作为绝缘层．A1n薄膜采删电子柬蒸发制蔷；敏感层薄膜则根据所雌甜参数的不同而变化， 车文以NiCr-NLA]作为敏感薄胰椅成薄膜热电偶．以TaN作为压阻薄膜构成薄膜直盘计，分剐监测 nr片的应变和表面温度t在完成敏感薄膜扫c岳!_lj孳膜传甚器奄《仆后．再沉积A12啦防护薄膜．以减 弱薄膜传堪器在使用过程中的性能退化． 3实蚴果 3I^l晶麟蔫嚷 对rAI 20，绝缘层薄膜，我们#噩考核#绝缘特性．尤萁戈注其高温F的绝缘特性。囤2给出 rNI丛目温台盘上所生长的A1203薄膜在不同温度F的l—v特性，与标准电介质材料类似，其电 罔l牢与电压有关。 V为 由于在传赙器使用过秤中加载刘绝缘薄膜上的电压通常银低，因此．本文采Ⅲ电压为0．5 计算Ai203薄膜电阻的标准。根据遮标准所计算出的A12岛薄膜电阻随温度变化曲线如图3所示． 南宁2010 速降低为15kQ，根据