离子束表面复合改性技术在汽轮机叶片上的应用的研究.pdfVIP

离子束表面复合改性技术 在汽轮机叶片上的应用研究 汗亮明 朱启良 过骥千 白玉兰 王锦辉 北京机械 业「自动化研究所 (1000川 摘要:小型汽轮机末级叫片的抗水蚀问题，国内现在采用电镀硬Cr的方 法来增强叶片进汽口部分，但效果不理想，现在国际上己采用了许多方法来 改善叶片的水蚀问题’‘，美国Duke人学于近年提出来用复合表面处理的思 路，本论文就是采用这一先进的交叉复合改性思路，利用离子束表面复合改 性技术对末级叶片进行抗水蚀处理，实验结果表明:离子束表面复合改性技 术在增加涂层与基体的结合力，增加抗水蚀和磨 关键词:离子束毯亘复互改一匡技术了示鸭’ 要解决汽轮机末级叶片水蚀问题，首先应对汽轮机末级叶片工况进行分 析。汽轮机末级叶片 「作在湿润蒸汽区域，高速旋转的叶片，受到从不断膨 胀的湿蒸汽中分离出来的水滴的撞击，导致水蚀，水蚀是造成叶片失效的主 要原囚。对叶片表面的强化涂层要求既能耐水蚀t又要与基体结合牢固，不致 提前脱落.卜面将介绍我们的 「作。 一 设备简介 我们的离子束表面复合改性生产设备包括真空镀膜室、真空获得及测量 系统、离子源及其供电测量系统、磁控溅射及其供电测量系统、可旋转工件 样品台等。 真空镀膜室由不锈钢加 is而成，内径。1.2mX1.5m.镀膜室壁带有冷 却水套，中间是可旋转的1一件样品台，有16个工位，可装16片叶片。 真空系统由K-800TD扩散泵、2JB-600罗茨泵、2X-70A机械泵、2X-30A 维持泵以及相关的气动阀门和管道组成。本底真空为5X10Pa，由ZDF-X数 显复合真空计进行测量。真空系统的控制集中在一个电控柜，并具有报替及 连锁保护。有手动和白动两种操作方式。 白动操作采用的是OMROK可编程控制器。 本设备配备有三台大面积矩形考夫曼型离子源，主要用于离子束辅助沉 积，可满足制备不同性质薄膜的需要 。离子源的主要参数如表1所示。 其中溅射离子源用于离子束溅射沉积，溅射靶是一个可以调节溅射角度 的水冷单面靶。低能离子源可用来对L件表面进行离子束溅射清洗、低能离 子束辅助沉积和低能离子束直接沉积。高能离子源主要用于动态制备离子束 混合界面，也可直接用于离子注入。 本设备还配备了两套4.5KW的平面磁控溅射装置，另外还配备了IL-100 型膜层速率监控仪，对镀膜进行在线检测。 -239- 表1.矩形考夫受离子派主要参数 束流 均匀区束斑尺寸 种类 瞥 毗 四) 溅射离子源 } 。一4 } 0^450 } 100X150 低能离子源 } 0.05-1.5 } 15--200 } 140X300 高能离子源 } 0-100 } 0-40 } 140x300 供气系统分五路: 溅射离子源和低能离子源两路采用D07系列质量流量控制器进行气体流 量控制。 高能离子源由于处于100KV高电位，所以采用针阀供气。 磁控溅射供气有两路，一路用针阀供气，另一路用APC压强控制仪供气。 这样可根据需要同时供给两种气体，因此 除了能沉积单质膜外，还可以沉 积化合物膜。只要改变二种气体的比例，就可以改变化合物膜组成元素的比 例。 为了节约水资源我们采用循环水冷系统对离子源、溅射靶、扩散泵、机 械泵、真空镀膜室、工件样品台等部件进行冷却。水温可在15C-35℃范围 内调节。 本设备的性能和特点是: ①一次能处理0.5^1米长汽轮机叶片16片，生产效率较高。 ②三台大面积矩形考夫曼 (Kaufman)源在国内是首次使用。 @多气路的设计和靶材可更换，可以满足不同 〔艺的要求，既可沉积单 质膜又可沉积化合物