微机械发展现状与展望.pdfVIP

2000 2000年第14卷专刊 华北工学院试技术学报 V01．14Mono AND OFlrESTMEASUREMENT]rECHNOLOGYOFNCIT JOUNAL 张文栋 华北f学院山西太原(030051 f{在}j本Hiroshima举行的第六屑国际微机槭大会进行了总结。站台会议的发言tj 擅要奉文对2000年lO月12 充流咀及作名在日韩两国著名研究机构和国际大企业的参观访问实跬，对当今M刚s领域的热点、前沿咀及拙求动 向仟r介绍。另外对同外的I,佩tS政策以发在教育、标准化、技术开技转让、草地建吐、f托用等方面的发展f]埘状 也做J’丰H应的介绍。并对国内和华北_r学院微米纳米技术研究中心今后的发展做出了一牡新的建议和设想。 关睫词：微机械 发展展埋 第六届国际微机械高层会议于2000年4月1(卜23日在日本ttirosMna召开，由总装备部、 清华大学、电子信息产业部、南京电子生物高技术公司等七人组成了中国微机械高层会议代表巨11= 出席了本届国际铷栅械高层会议。本次会议是新世纪之初的第一次会议．共有十五个国家乖l地k 参加了本次会议，会议地址选在广岛，寓意着现代高技术发展要为人类的和平和进步做贡献，同 时要防止新的人类悲剧的发生。会议上首先是各个国家的首席代表报告本国微机械近5到10年 以来的研究、发展以及市场开发与应用情况，然后分政策、标准化、教育、技术开发、11．业基地、 应用与展望等等七个方面进行了人会发言，代表”J即席进行了交流与洲论。中国代表团团K、 清华人学微米／纳米中心主任周兆英教授在会上报告了我国微机械的研究与发展情况，介纠n目 家对微机械领域的支持与中国近50个研究小组取得的主要成果及]一业化应}}{前景。指出今后』L 年将是中国微机械研究、发展与应用的关键时期．他还简要介绍了国家863、973计划以及国家 其他有关部门的微机械重大研究与发展计划。电子部十五所所长赵正平教授与本文作者合作’弓r 题为《微机械对现代社会与工业的影响》的学术论文，在会议上进行交流。清华人学李勇教授就 徽机械教育问题发了言。会议结束后，顺访了东京大学、名古屋大学、汉城大学，以及三菱、DENSON、 精【、二星和LG等公司，并到日本的国家微机械中心进行了交流和座谈。 作为世纪之交的一次盛会，各个国家的代表对本国在五型十年米M日旧的发展作了虻报， l 五个与会国家和地区(包括澳_人利亚、比利时／荷兰／卢森堡、加拿人、中国、法国、德国、曰本、 韩国、地中海地区、北欧地区、新加坡、瑞士、台湾地区、英联薨j地区、荚国)的代表就此项内 容进行了专题发言。从会议发言以及论文来看．美、日、德三国仍然处在脏搬发展的前列，这 些国家全面开展各个领域的MDIS技术、器件以及系统的研究与开发，政府的投资力度和大型企 业的参与程度都非常高。其中日本非常重视各个研究机构、大型企业之间的协调和均衡，有专『] 小项目受山西省白然科学基金资助 项目譬：971036 本项口受国家杰出青年基金资助，项H号 +收稿jj期：2000．03．23 720 华北工学院测试技术学报 2000年6jj 的机构——微机械中心负责组织实施微机械计划，在教育、标准化等方面的工作走在了世界的 前列。技术上，日本在微型工厂(见图1)、微型汽车和管道机器人的研制方面都有较大的突破。 中等发达国家和发展中国家_艘结台本国情况，有选择的开展研究与应用。欧洲除了老牌的德国 外，发展较快的是法国和瑞士，而在亚洲，韩国和台湾地区的发展则相对较快。世界各国都非常 重视应用研究和器件的市场化，与国内相比国外大型企业对肛惦技术的敏感度要高地多，企业 的研制开发投入也相当大。本次会议除了各国家和地区的发展综述外．分七个专题进行了发言与 讨论，以下分别予以叙述。 Frassi 在政府政策方面．北欧地区代表Sami la作了题为《自然还是强制合作?》的发言， Ilauden竹 欧共体