硅基光电子器件研究与进展.pdfVIP

硅基光电子器件研究与进展 汪毅1·2 周治平1·3黄德修’·2 (1． 武汉国家光电实验室， 武汉，430074) (2． 华中科技大学光电子工程系，武汉，430074) 美国乔治亚理工学院微电子研究中心，亚特兰大，30332—0269) 摘要：硅基光电子学是近年来逐步发展起来的新兴交叉型学科，研究方向涉及硅基光放大器、硅 基光开关，硅基耦合光栅和硅基生物传感器等方面。本文着重介绍在硅基连续激光器、硅基光调制 器和硅基光探测器的研究工作，并提出硅基光电子产品在未来的发展前景。 关键词：硅基光电子；绝缘体硅基；连续激光器；光调制器 中图分类号：TN304．1。2文献标识码：A RESEARCHAND 0FSI LlCONPHOTONI CS DEVELOPBENT WANG De．xiuI2 Yi他，ZHOU Zhi—pin91．3，HUANG National for (’Wuhan Laboratory Optoelectronics，Wuhan，430074) (2 of ofScienceand DepartmentOptoelectronicsengineer,HuazhongUniversity Technology,Wuhan， ，430074) (’MicroelectronicsResearchCenter Institute Georgia ofTechnology， Atlanta，30332—0269) Abstract：Siliconhasbeen asanewcross inrecentwhich in photonics developed subject year majoring this silicon switch、silicon andsiliconbiosensoretc．In opticalamplifier、siliconoptical coupledgrating researchworksofsiliconcontinuouslaserandsilicon modulatorandsilicon paper，the optical arereviewandthe futureofsilicon is photodetector photonicsproposed． modulator Keyword：Siliconphotonics；SOl；Continuouslaser；Optical 22l 0引言 光电子学…作为近几十多年逐步发展起来的新兴科学，已广泛的应用于国民生产的各个领域，特别是 光纤通讯方向。众所周知，信息在光纤中以光速C传播，每条光纤可以承载数以万计的通道数据传输。然 而光器件多由稀有金属如砷化镓、铌酸锂和磷化铟，生产工艺相当复杂。同时光纤一般需要人为的进行调 整耦合，在一定程度上增加了光学器件的成本。 硅材料是地球上分布最广的元素之一，因价格低廉而成为现代微