激光入射角度对薄膜热场分布影响的数值分析.pdfVIP

第56卷第4期2007年4月 物 理学 报 1000．．3290／2007／56(04)／2382．．06 ACTAPHYSICASINICA ⑥2007Chin．Phys．Soc． 激光入射角度对薄膜热场分布影响的数值分析* 王 颖’ 刘 旭 章岳光 顾培夫 厉以宇 李明宇 (浙江大学现代光学仪器国家重点实验室，杭州310027) (2006年3月17收到；2006年11月1日收到修改稿) 在多层介质薄膜中。激光的入射方式是影响薄膜抗损伤能力的关键因素之一．提出了一种模拟锥角高斯光入 射多层介质薄膜后电场和热场分布的方法．该方法能够分析薄膜中高斯光各个角谱分量叠加形成的电场分布，进 而得到由于薄膜本征吸收产生的热量沉积以及薄膜内部的温度场分布．针对中心波长为4．3tan的中红外高反膜 进行了分析，给出了高反膜系的温升峰值随激光入射角度和偏振态的变化．结果表明：对于s偏振光，斜入射时膜 系的最高温升峰值高于垂直入射峰值，而P光的结果则相反．此种模拟方法克服了原有方法对激光入射角度的限 制，较好地反映出斜入射情况下激光偏振态对薄膜损伤的影响． 关键词：多层介质薄膜，高斯光，热过程，数值分析 PACC：6860，4255B，0720 光f7】，分析不同入射角度的锥光束进入介质膜层后 1．引 言 的电磁场分布以及薄膜本征吸收产生的热沉积，之 后根据含热源的二维瞬态热传导模型，求解得到二 激光对薄膜的损伤是多种作用下的复杂过程， 维温度场的数值解．本文采用上述方法分析了中心 影响因素众多，其中激光本身的特点和薄膜对激光 波长为4．3肚m的高反膜的光热场分布，对比了不同 能量的吸收是影响薄膜抗损伤能力的重要因 偏振态的激光从不同角度入射时，膜层中温升峰值 素H-31．对于红外薄膜，当入射光为较宽脉冲宽度的变化．结果表明，s偏振态下激光斜入射的膜系温 (纳秒级)的激光时，热过程是损伤发生的基本过 升峰值明显高于垂直入射的情况，而P偏振时温升 峰值随入射角的增加而减小． 程u1，光通过本征吸收和杂质吸收转化为热，由热应 力耦合最终导致薄膜损伤b】．探索激光的人射条件 2．原 理 与薄膜损伤的关系，提高薄膜的抗损伤能力，对强激 光薄膜的研究有重要意义．在激光照射下，薄膜的吸 收损耗将部分激光能量转化成热沉积，引起薄膜内 2．1．电磁场计算 部的局部升温，导致薄膜性能降低甚至结构破坏．在 如图1所示，有n层薄膜沉积于基底N=几+1 红外波段，薄膜材料的吸收较可见波段更为显著．人 的表面，t=0时刻激光从空气中沿0；角方向入射， 们对于光学薄膜的光热过程进行了深入的研 那么入射高斯光的磁场(P偏振)可以表示为 究H_61，提出了光学薄膜的温度场设计理论．但是原 ^4-蕾 有的理论都是将激光的电磁场简化为垂直膜面入射 日，，=l J一- 的平面波形式，不考虑高斯光的各个角谱成分和偏 其中 振态．这种方法只能分析激光垂直入射时的光热场 妒(后，)=焉ro 分布，无法分析激光入射的角度对薄膜热场的影响， 二V7【 所得的电场和热场分布与实际相差较远．本文在模 这里乃是薄