用于高数值孔径物镜的可调光瞳滤波器.pdfVIP

第 卷 第 期 光 学 学 报 ， 年 月 ， 文章编号： （ ） 用于高数值孔径物镜的可调光瞳滤波器 王湘晖 林 列 郑 铁 方志良 母国光 （南开大学 ·天津大学联合研究院， 南开大学现代光学研究所，光电信息技术科学教育部重点实验室，天津 ） 摘要： 根据矢量衍射理论，提出了一种用于提高高数值孔径显微物镜纵向分辨率的可调二元环形光瞳滤波器，通过 改变滤波器的环半径获得不同的纵向分辨率，并利用共焦显微术点扩散函数的乘积性大大地降低了旁瓣相对主瓣的 比值。模拟结果表明，这种新型滤波器不仅可以提高高数值孔径物镜的纵向分辨率，同时基本上不影响横向分辨率。 关键词： 光学仪器；高数值孔径；光瞳滤波器；纵向分辨率；矢量衍射理论 中图分类号： 文献标识码： 引 言 散函数的影响，并从矢量衍射理论出发提出了一种 新型可调二元环形滤波器，用以提高高数值孔径物 随着现代科学技术的迅速发展，人们对显微成 镜的纵向分辨率，同时不降低横向分辨率。最后为 像技术提出了越来越高的要求。通常成像分辨率受 减小旁瓣上升对分辨率的影响，利用了共焦显微术 制于物镜的数值孔径，为进一步提高分辨率必须采 ［ ］ 点扩散函数的乘积特性 （共焦显微系统的点扩散 用新的方法，其中一种就是将变迹术与成像技术相 函数为照明物镜点扩散函数与探测物镜点扩散函数 结合起来［ ］。变迹术的主要思想就是在系统中加 的乘积）来抑制旁瓣相对于中心峰值的比值。 入光瞳滤波器，通过改变光瞳分布来实现提高分辨 率的目的。例如， ［ ］ 等人提出的可调二元环 原 理 形滤波器（如图 、图 所示）既可以提高系统的纵 ! # 基于矢量衍射理论的点扩散函数纵向分布 向分辨率，又不影响其横向分辨率。作者经研究发 等人曾从矢量衍射理论出发，分析了一束 现：这种滤波器确实具有这一性质。但是，这些滤波 平行光入射到无球差高数值孔径物镜上，焦点附近 器的设计都是基于傍轴理论。而在实际应用中为获 的光场分布［ ］。根据 的分析结果，若入射光为 得尽可能高的分辨率，往往采用高数值孔径的显微 圆偏振光或自然光，则物镜的点