皮秒激光工程应用研究现状与发展分析.pdfVIP

第50卷第5期 机械工程学报 V01．50No．5 2014年3月 M札 2014 JOURNALOFMECI|ANICALENGINEERING DoI：10．3901／肌ⅥE．2014．05．115 皮秒激光工程应用研究现状与发展分析木 季凌飞 凌晨 李秋瑞 吴 燕 闫胤洲 鲍 勇 蒋毅坚 (北京工业大学激光工程研究院北京 100124) 摘要：皮秒激光作为一种新型的能量源，具有皮秒级(≤10ps=10-11s)超短脉宽、重复频率可调范围宽和高脉冲能量等特点， 有望实现包括硬脆性难加工材料在内的高精与高效兼顾的材料加工效果，在材料精细与微纳加工领域已逐步显露头角。介绍 了皮秒激光与材料相互作用的基本特点和区别于其他类型激光加工的优势，总结综述近年来国内外皮秒激光在材料切割、选 择性去除、深微孔加工和型面加工等几个面向工程实际应用研究的最新进展，对皮秒激光在工业领域未来应用中所面临的问 题和发展方向进行分析与预测。皮秒激光的工程应用作为新型激光智能化制造手段之一将在高精高效机械制造领域具有广阔 的应用前景。 关键词：皮秒激光；工程应用；高精与高效加工 中图分类号：TC弭85；v261 Research and ofIndustrial of ProgressDeVelopmentAppⅡcation Laser Picosecond Processing LI WUYanYANYinzhouBAO JI LINGChenQiumi Yong刚蝌GⅫian Lingfei (InstimteofL弱erEnginee血g，Be狮g its laserhaSa仕ractedmore柚dnloreanentionbec肌seof ultra-short Abstract：Asanovel plllse谢dm(≤ energysource，picosecond 10 few触s is toachieVe ps=10-11s)，widerepetition丘equencymnge(a ofHz-MHz)andhighplllseene礓莎Itexpected highprecise of thehardandbrittle has in 柚de衔cientl髂er mterials，which promising pmcessingmateri“s，panicularly be％铲adually other ch锄cteristics laserinteraction1Ⅳithmaterialswhicharedi丘．erent丘Dm mallufk嘶ng ofpicosecoIld indus由啊Thep血ciple觚d kindsoflaserarein仇)duced．Thelatestresearc