纳米晶体Ti表面磁控溅射SiC薄膜的干摩擦学性能.pdfVIP

第40卷 第6期 稀有金属材料与工程 、，01．40．NO．6 2011年 RAREMETAL ANDENGINEERrNG June20ll 6月 MA丁ERIALS 纳米晶 许晓静，郝欣妮，陆树显，卓刘成，夏登福 (江苏大学，江苏镇江212013) 摘要：采用室温磁控溅射技术在纳米晶体钛(剧烈塑性变形制备)表面制备出碳化硅(SiC)薄膜，研究SiC薄膜的 组织结构、纳米压痕行为和摩擦磨损性能。结果表明：SiC薄膜具有纳米尺度“畴”特征的表面形貌、高含量Si．C键、 GPa)、低的弹性模量(83．34 与基材间具有明显且呈梯度的元素扩散、低的纳米硬度(10．62 GPa)和高的硬模比(0．128)。 在1．96 N载荷、氮化硅球(半径为2mm)为对摩件、室温空气条件下，其磨损速率为10巧mm3．m-I．No级、摩擦系数 约为0．162，磨损后薄膜不出现裂纹和剥落。 关键词：纳米晶体钛基材；薄膜；摩擦磨损；磁控溅射 中图法分类号：TGl74．4 文献标识码：A 文章编号：1002．185X(2011)06．0991．04 纳米晶体钛(Ti)具有比强度高、生物相容性好 表1 薄膜溅射的实验参数 (无对人体有害的Al、V元素)等特性，是最有前途 塑墅!!!旦!巳!!!!!竺竺￡苎!兰竺!!竺!1211垒!璺!竺垒!竺! Depositionparameters Value 的生物医用金属材料之一【14l。为了进一步提高其生物 Backgroundpressure／Pa 2．5×lO。5 医用性能，也需对其表面进行改性。 Substrate Room temperature Temp． 碳化硅(SiC)是好的生物医用材料【56】，并且文 Magnetronsputteringtechnology RF 2．O 献【7】发现在纳米晶体Ti表面采用磁控溅射技术制备 Workinggas(Argon)pressure／Pa massflowrate／mL。rain’1 65 的SiC薄膜具有好的塑性。本实验研究该薄膜的组织 Argongas Power／W 200 结构、纳米压痕行为和摩擦磨损性能，以期为生物医 Time／min 240 用纳米晶体钛的表面改性提供依据。 distance／mm 70 Target·substrate 1 实验 别为1000～2500 laN，最大压入深度不超过薄膜厚度的 钛(TA2)基材的名义化学成分(质量分数，％) lO％，纳米压痕性能取4次测量的平均值