CVD金刚石薄膜在水润滑条件下的摩擦磨损性能研究.pdf

Vol 1 第28卷第1期 摩擦学学报 28。No 2008年1月 TRIBOLOGY Jan，2008 CVD金刚石薄膜在水润滑条件下的 摩擦磨损性能研究 沈彬1，孙方宏1，张志明2 (1．上海交通大学机械与动力工程学院，上海200240； 2．上海交通大学微纳科学研究院，上海200030) 摘要：采用偏压辅助增强热丝CVD法在硬质合金衬底上制备常规金刚石薄膜和超细晶粒金刚石薄膜，在往复式球．盘 摩擦磨损试验机上考察金刚石薄膜在干摩擦和水润滑条件下的摩擦磨损性能，分别采用扫描电子显微镜、拉曼光谱仪 和能谱仪分析金刚石薄膜的表面形貌特性、结构特征及其摩擦表面残余物质的组成．结果表明，常规金刚石薄膜和超 细晶粒金刚石薄膜在水润滑下的摩擦系数分别约为0．25和0．22，超细晶粒金刚石薄膜对偶件的磨损率仅为6．94× 10“ram3／(Nm)，显示出优异的减摩性能，可作为良好的水润滑摩擦副涂层材料． 关键字：金刚石薄膜；超细晶粒金刚石薄膜；摩擦磨损性能 中图分类号：TGl56：Tilll7．3 文献标识码：A 在现代摩擦与润滑领域，油基润滑已被广泛使 和超细晶粒金刚石薄膜，并分别在干摩擦和水润滑 用．随着环境、生态及资源问题的日益重视，以水作 条件下对其摩擦性能进行研究． 为摩擦副润滑介质，用水润滑系统来替代油润滑系 1 实验部分 统可望成为解决油润滑介质对环境污染的问题以及 节约石油资源消耗的重要发展方向，研究与水润滑 1．1 金刚石薄膜的制备 相匹配的新型摩擦材料或表面涂层已成为水润滑技 使用偏压辅助增强热丝CVD法在硬质合金 术应用的关键． (YG6)衬底上制备2种类型的金刚石薄膜，称为常 CVD金刚石薄膜具有许多优异特性，如接近天 然金刚石的硬度、较高的弹性模量、极高的热导率、 膜．沉积装置为偏压辅助增强热丝CVD装置’8J，反 良好的自润滑性能和化学稳定性等，在拉拔模具及 应气体为氢气和丙酮．制备超细晶粒金刚石薄膜时， 刀具等耐磨器件领域具有广阔的应用前景¨以J．目 引人惰性气体Ar以降低金剐石晶粒的尺寸．为了提 前国内外对于金刚石薄膜摩擦特性的研究主要集中 高金刚石薄膜的形核速率，加快生长速度，在热丝和 于干摩擦条件和一些惰性气体环境中进行，如 试样之间施加直流偏压(热灯丝为负极，电压50— 150 Abreu等L41在干摩擦条件下研究了高载荷作用下V)以产生直流放电电流，沉积工艺参数见表1． CVD金刚石薄膜的摩擦行为；Erdemir等po研究了 1．2金刚石薄膜的结构表征 光滑的金刚石薄膜与Si，N。球摩擦副在干摩擦条件 金刚石薄膜的表面形貌，采用TaylorHobson型表面 下于干燥氮气环境中的摩擦性能；Perle等哺1考察了 金刚石薄膜在不同气体(包括空气、氧气、氮气和氩 粗糙度测量仪测量金刚石薄膜的表面轮廓曲线及表 气)环境中的摩擦性能．然而，对于金刚石薄膜在水 润滑条件下的摩擦性能研究还较少．鉴于此，本文作 仪分析金刚石薄膜的结构特征． 者采用偏压辅助增强热丝CVD法在硬质合金衬底 1．3金刚石薄膜的摩擦磨损性能评价 上沉积2种类型的金刚石薄膜，即常规金刚石薄膜 摩擦磨损试验在UMT型往复式球一盘摩擦磨损 基金项目：国家自然科学基金资助项目；