DHM-500超精密数控非球面透镜磨床的研制.pdf

第 卷 第# 期 纳! 米! 技! 术! 与! 精! 密! 工! 程 ’()* ! +(* # ! $$% 年 月 !#$%’(#$)$*+ #, -.’/0/$# 1#*/#./#* ,-.* $$% ! 2345677 超精密数控非球面透镜磨床的研制! 张向阳 （北京东华精机高新技术有限公司，北京 #$$$#/ ） 摘! 要：为了解决非球面透镜加工方法周期长、成本高等问题，该文介绍了作者在01,23$$ 超精密数控非球面透 镜磨床研制中的一些关键技术，对其主要结构进行了分析* 该磨床主要用于解决大尺寸非球面透镜的高精度高效 率加工问题* 工件主轴、砂轮主轴、转台及溜板全部采用液体静压结构，能实现! 、 、# 三轴联动的磨削加工* 主轴回 转精度为$ * # !4 ；砂轮轴回转精度为$ * # !4 ；转台回转精度为$ * # !4 ；导轨直线度为$ * 3 !45 6$ 44 ；系统分辨 率为$ * # !4 ；! 轴定位精度为7 $ * 3 !45 6$ 44 ； 轴定位精度为7 $ * 3 !45 #8$ 44 ；转台定位精度为7 9* 关键词：超精密磨床；非球面透镜；数控磨床；液体静压主轴；液体静压导轨；全闭环反馈；超精密车床 中图分类号：:1#/% ；:18%! ! ! 文献标识码：;! ! ! 文章编号：#/82 /$$ （$$% ）$#2 $$3%2 $3 80.’( $# 2345677 9)%.5-.’/0/$# :!: !$#5;(./’) =#0 ./#,/#* 4’(/# 1;+= ?-@A2B-@A （CD?E?@A F-GH I.DHDJK L(* ，MHN ，CD?E?@A #$$$#/ ，LK?@- ） ?@0%.’% ：O(4D PDB HDJK@()(A?DG ?@ NDG?A@?@A HKD 0,123$$ L+L @(@2GQKD.?J-) )D@G2A.?@N?@A 4-JK?@D -.D ?@2 H.(NRJDN -@N HKD 4-?@ GH.RJHR.DG -.D -@-)BSDN ?@ NDH-?)* :KD QR.Q(GD ?G H( G()TD HKD K?AK Q.DJ?G?(@ -@N DUU?J?D@H 4-@RU-JHR.?@A (U HKD )-.AD G?SD @(@2GQKD.?J-) )D@G* :KD KBN.-R)?J GH-H?J GH.RJHR.D ?G -N-QHDN ?@ HKD GQ?@N)D (U V(.PQ?DJD ，HKD GQ?@N)D (U A.?@N?@A VKDD) ，HKD .(H-.B H-W)D -@N HKD G)?NDG ，G( HK-H ! ， ，# -XDG J-@ WD J(@H.())DN G?4R)H-@D(RG)B U(. A.?@N?@A 4-@RU-JHR.?@A* :KD -JJR.-JB (U HKD 4-JK?@D -.D -G U())(VG ：HKD V(.PQ?DJD GQ?@N)D ?G $ * # !4 ，HKD A.?@N?@A GQ?@N)D ?G $ * # !4 ，HKD .(H-H?@A H-W)D ?G $ * # !4 ，HKD )?@D-.?HB ?G $ * 3 !45 6$ 44 ，HKD .DG2 ()RH?(@ (U HKD 4-JK?@D ?G $ * # !4 ，HKD Q(G?H?(@?@A -JJR.-JB (U ! -X?G ?G 7 $ * 3 !