MOD法在La0.47Sr0.53TiO3LaAlO3上沉积YBa2Cu3O7-σ超导层的研究.pdf

助 锨 材 料 MOD法在Lao．47Sro．53Ti03／LaAl03上 沉积YBa2Cu307一盯超导层的研究’ 高 锋，李风华，王 娜，李英楠，樊占国 (东北大学材料与冶金学院，辽宁沈阳110004) 摘 要： 实验通过无氟的金属有机物液相沉积法在 Lao．7Sro．3 单晶LaAl03(LAO)基底上生长Lal一。Sr；Ti03缓冲 构，并采用真空沉积或三氟乙酸的金属有机物沉积法 层，之后在其上生长YBa2Cu30，一。(YBCO)超导层，这 种制备方法与真空沉积法和三氟乙酸金属有机物沉积 法相比，具有成本低、效率高和环境友好等优点，对 层。但真空沉积法对设备的真空度要求较高、组分较 YBCO涂层导体的实际应用更具有研究价值。X射线难控制，不利于规模化生产。而TFA—MOD法热处理 时间较长，反应过程中有HF生成，对实验设备具有腐 衍射(XRD)结果表明，在LAO基底上生成了纯净的 蚀作用，对周围环境也有一定的影响[9]。因此，本实验 Lal--xSr．Ti03膜，在Lal一，Sr。Ti03／LAO结构上生成 了单相的YBCO膜，构成两种膜的晶粒均具有沿垂直探索用无氟的金属有机物液相沉积法(MOD)制备 于基底表面的c轴方向择优生长；通过半定量的能谱 分析(EDS)确定缓冲层La。一，Sr；Ti03为Lao．．，Sro．53 Ti0。相，表明部分La元素挥发；扫描电子显微镜 (SEM)结果表明在LAO基底上生成的La¨，Sro．。。层。采用LSTO作为导电缓冲层，不仅因其具有作为 Ti03膜平整光滑；在LaoⅢSro．s3Ti03／LAO结构上生一般缓冲层的条件，而且具有良好的金属导电性。在 长的YBCO成膜颗粒聚集成片状，相互叠加生长，形 成平行于基底表面的超导层。 =O．5时，剩余电阻po仅为2×10-4 关键词：Lal．。Sr。Ti03；MOD；YBCO；缓冲层；涂层 ‘ 导体 中图分类号：TM262 文献标识码：A 和YBCO超导层生长工艺较好的基底材料。 文章编号：1001-9731(2008)10一1662-03 2 实 验 1 引 言 2．1 LSTO缓冲层的制备过程： YBa：Cu。O，一，(YBCO)涂层导体具有较高的临界 电流密度以及良好的抗磁性，是目前超导领域研究的 热点。YBCO涂层导体一般由金属基底、缓冲层和超O。Ti)为溶质，以冰乙酸和甲醇为溶剂，以乙酰丙酮为 导层3部分构成。缓冲层一般要求与超导层和金属基 底具有良好的化学兼容性、品格匹配性以及相近的热 混合，冰乙酸和甲醇量按体积比为l：1加入。稳定剂 t 与溶剂的体积比为1 15。配制过程中在恒温磁力搅 膨胀系数。如较常用的Ce02、YSZ、Y20。、MgO、 拌器上搅拌，溶解碳酸锶时进行微热。最后得到La离 La2Zr20，、BaZrO。等。但这些缓冲层大多是绝缘体， 当瞬时电流超过YBCO层的临界电流J。时，局部过热 可能导致整个带材失超。为了维持超导带材电和热的 稳定性，在涂层导体中可采用导电的缓冲层，在超导层 与金属基底之间建立起电流经过的通道，既能起到很 好的分流保护作用，又能提高带材整体的工程电流密 丙酮、乙醇和甲醇中超声清洗10min。纯氩气氛下在 度．，。【1]。可是既要满足