进电方式对高阻半导体硅放电加工影响研究.pdfVIP

进 电方式对高阻半导体硅放 电加工影响研究——刘志东 曹银风 邱明波等 进 电方式对高阻半导体硅放 电加工影响研究 刘志东 曹银风 邱明波 田宗军 黄因慧 南京航空航天大学，南京，210016 摘要：进行 了高阻半导体硅 的放 电铣 削加工实验 ，通过检测脉冲放电电压和 电流波形，对固定、旋 转、随动三种进电方式下的加工情况进行 了对比。结果表 明：固定进电方式下，由于进 电点会逐步生成 不导电的钝化膜 ，接触电阻不断增大，回路 中的总电阻不断增大，放电峰值电流逐步减小，最终导致无法 加 工；旋转进 电方式下，由于进 电电极与加工区域距 离增大，导致放 电回路 中的体 电阻不断增大，放 电峰 值 电流也会逐步减小；随动进电方式下，放电回路 中进 电电极会不断刮除产生的钝化膜且极间距离维持 不变，因此接触 电阻和体 电阻能保持始终稳定，放 电加工稳定性较好 。 关键词：电火花；高阻硅 ；进电方式；电阻；随动进电 中图分类号 ：TG661 D0I：10．3969／j．issn．1004—132X．2012．06．020 Researchon InfluenceofDifferentConductionModeson EDM 0fHigh ResistivitySemiconductorSilicon LiuZhidong CaoYinfeng QiuMingbo TianZongjun HuangYinhui NanjingUniversityofAeronauticsandAstronautics，Naniing，21O016 Abstract：Electricaldischargemillingexperimentson high resistivitysemiconductorsiliconwere conducted，and processing conditionsunderthreekindsofconduction modesasfixed，rotating，and follow— upwerecompared．Resultsshow ：in fixed conductionmode，asthenon— conductivepassive film iSgraduallyformedontheelectricalconductionspot。contactresistanceincreases，tota1resistance inthecircuitcontinuestorise，dischargepeakcurrentdecreases，andasaresult，themachiningprocess iSunabletocontinue：in rotating conductionmode。asthedistancebetween theinlet— electrodeand machiningareagetting long，bulk resistancein thedischargecircuitincreases，and consequentlydis— chargepeakcurrentgraduallydecreases；infollow— upmovingconductionmode，theinlet— electrode indischargecircuitwillcontinuouslyclearoffthegeneratedpassivefilmsandmaintainthedistancebe— tween electrodes，therefore，contactresistanceandbulk resistanceremainsteady，1eadingto thegood stabilityofconditionindischargemachining． Keywords：electricaldischargemachining(EDM )；highresistivitysilicon；conductionmode；resist— ante：foll0w— upconduction 0 引言 会产生变化 ，这些因素都会影响半导体放 电加工