光电位置灵敏探测器及其应用.pdfVIP

维普资讯 第 25卷第 s期 东 南 大 学 学 报 Vd．25 No．5 I995年 9月 JOURNAL OF S 旷 【lⅢ ^sT UNI、 R TY Sept．1995 光电位置灵敏探测器及其应用。 方秋华 田新 孙 定 1H2 (j末南太学振动工程研竞所，南京 210018) 2 摘要 夼绍 了一种建立在横 向光 电效应基础上 的新型位置更敏探测嚣 ，它 不存在死区，可给 出入射先．最在整个光敏面上移动时的连续性位置数据．文 中舟绍了其结构、工作原理和特性，给出了位置坐标函数表达或和相应的检 刺 电路框图，并讨论 了PSI)的几个应 用实捌． 关键词 光电栓洲I．位置传感器 ／横 向 电效应 中国法分类号 位置探 器 位置灵敏探测器是 80年代发展起来的一种新塑位置揉测器．与光导摄像管及固体摄像器 元件相 比，有许多独特的优点，如：(1)没有工作死区，可给出光点在整个光敏面上移动时的连 续性位置数据．(2)分辨率高 ，响应速度快 ，线性较 好．(3)不需扫描 ，可筒化外围电路，具有较高的性价 输出 比．(d)检测时不受人射光束的形状 以及光强波动的 叫 影响． l ’ l PSD在结构上有一维和二维之分 ，可分别进行 一 维和二维的位置测量，本文仅讨论一维PSD的原 L { J 理及其应用． ． 光 电流 』0一 』l十 2 】 PSD的结构及工作原理 PSD的工作原理基于横向光电效应 ，图 l是其结 构原理图及等效电路图．PSD 由三层构成，最上一层 是P层 ，下层是 N层 ，中间插人一较厚的高阻I层 ，形 删 成 PI-N 结构 ，此结构 的特 点是 I层耗尽 区宽，结 电 0 l 容小 ，光生载流子几乎垒部都在 I层耗尽 区中产生 ， @ ． 没有扩散分量 的光 电流 ，因此 ，响应速度 比普通 P-N (b) 结光 电二极管快得多．当PSD表面受光照射时，在光 图 1 PSD蛄构原 理 图 斑位置上产生 比例于光能量的电子一空穴对流过 P层 电阻，分剐从设置在 P层相对 的两个电极 · 目隶八五攻燕项 目。85-720资助项 目， 收薯 日期 1905—01—03，修改稿收到 日期 t1095—03—18． 维普资讯 第 5期 方戢华等 ：光 电位王更敏探测器厦其应用 上输 出光电流 J和J”由于P层 电阻是均匀 的，电极输出的光电流反 比于人射光位置到各 自电 极之 同的距离 ，光 电流 ^和 Jz可用以下公式表示 坐标原点设在 PSD中点时 J1= Io(L一 )／2L (1) 一 Io(L+ )／2L - (2) 坐标原点设在 PsD一端时 J = ,to(2L一 粕)12z, (3) 如 一 Joa12z,