CaMnO3热电薄膜的制备及性能表征.pdfVIP

第42卷 增刊1 稀有金属材料与工程 V01．42，Suppl．1 2013年 RARE 6月 MEllALMATERlALSAND ENGINEERING June2013 CaMn03热电薄膜的制备及其性能表征 詹斌，兰金叻，林元华 (清华大学新型陶瓷与精细工艺国家重点实验室，北京1000841 随着热处理温度升高，晶粒增大。络合剂比例及薄膜厚度对CaMn03质量影响显著。PPMS测试发现，薄膜热导率随着 热处理温度的升高而降低。 关键词：热电；薄膜；CaMn03；溶胶．凝胶 中图法分类号：TG34 文献标识码：A 文章编号：1002．185x(2013)S1．054．03 21世纪以来，日渐加剧的能源危机和环境污染促 使人们发展高效清洁的替代产物。热电材料能实现热能 酸的乙二醇独甲醚中，搅拌均匀后得到前驱体溶液， 与电能的相互转换，在发电、制冷以及废热循环等领域 静置陈化后使用匀胶机(sc．100)旋涂成膜。所得湿膜 拥有广阔的应用前景。氧化物材料能耐高温、抗氧化， 本身毒副作用小则是近年来热电材料的研究热点，因而 在200和400℃分别保温10min进行低温处理。实 受到了人们的广泛关注[1’2】。目前研究较多的体系有 验通过调节旋涂次数来制备相应厚度的薄膜。最后通 SrTi03、In203、ZnO、CaMn03等【3。6】。低维物理的发展 极大的推动了热电研究的步伐。随着尺度的降低，其性 射线衍射仪(XRD，RigakuD／max．2500)对样品进行物 能也将发生跃迁式的改变，如纳米结构可以产生更多的 相分析，通过拉曼(Raman，LabRAM HR)光谱分析薄膜 界面和缺陷，能有效的降低材料的品格热导率。进一步 的组成。采用扫描电子显微镜(SEM，HITACHIS一5500) 研究表明结构尺寸小到临界值的时候，通过量子约束效 对样品进行形貌观察。利用综合物性测量系统 应等可以提高材料的功率因子。这些都有助于改善材料 (PPMS一9T)对样品进行热电性能测试。 的热电性能。 2结果与分析 最近研究表明，CaMnO，是一种良好的热电材料。 2．1 Ankam[7】等人通过固相反应法制备了不同稀土元素 薄膜质量 文献报道，溶胶一凝胶法制备CaMn03干凝胶的最 (Sm，Gd，Dy)掺杂的CaMn03陶瓷，并研究了其性能 的变化。Lan[6】等人通过共沉淀法制备的Gd掺杂的细低热处理温度为750oc【91。本实验制备的薄膜为二维 晶CaMnO，陶瓷在973 纳米结构，对CaMnO，的成相温度有显著影响，因此 K时热电优值(zn可达O．24。 Dimasl8】等人以A1203为基底，采用软化学合成方法制 K为8．5×10曲品的工艺参数如表l所示。 备了CaMn03薄膜，其功率因子在950 W／mK2，高于纯相的CaMn03陶瓷。本工作主要对 CaMnO，薄膜的制备工艺进行了探索，并对其结构和性 能进行了表征。 特征峰强度随处理温度的升高出现了明显增大，但是 在330位置部分样品出现了杂峰。图2为不同温度下 1 实验 本实验采用溶胶．凝胶旋转涂覆法制备CaMn03