电浆熔射奈米级Al-%2c2-O-%2c3-%2f13﹪(ω)TiO-%2c2-微粒之涂层特性的研究.pdfVIP

第4卷增刊 过程工程学报 V01．4 Suppl 2004年8月 TheChineseJournalofProcess Engineering Aug．2004 i 电浆熔射奈米级Al。0。／13％(03)T 0。微粒之涂层特性研究 苏程裕1，郭家宏1，林中魁2，萧威典3 (1．台北科技大学机械工程系，台北106；2．逢甲大学材料科学与工程系．台中407； 3．工业技术研究院工业材料研究所，新竹310) 摘 结构与特性研究．实验结果显示，从微观结构组织观察得知，传统熔射涂层结构为层状组织 (Lamellar kV／mm， V，介电强度约4．5 电特性方面，奈米级A1203／13％(oo)Ti02熔射涂层之崩溃电压为1500 介电常数为5．22，相较于传统粉体所喷覆之涂层，半导体特性上有相当大的改变． 关键词：电浆熔射：奈米粉体：层状组织：介电性质 1前言 目前电浆熔射(Plasma (Thermal 铁表面的耐磨耗、耐腐蚀和穴蚀(Erosion)等工作环境． 电浆熔射制程，将粉体导入高速电浆后，急速的将粉体加热熔融并加速射出，粉体在半熔融 状态下撞击到基材表面沉积．半熔融状态下的粉体在高速撞击基材后，从液滴状态转变为扁平态 的急冷组织，熔射涂层即由此种急冷组织堆积而成【3】．熔射粉体于制程中，实际加热时间相当短暂， 涂层可能有高孔隙率和涂层韧性(Toughness)不足等问题． 比较与探讨． 2 实验方法 Metco S3 本研究之电浆熔射设备采用SulzerA3000电浆熔射系统，配合ABBIRB2000机械手 臂控制喷涂速度与路径，其完整设备之示意图如图I所示．试片基材使用一般中碳钢，其尺寸为 100 minx65mmx3．2 体为微米级商用之Metco--130粉体；而奈米级ATl3粉体则使用Inframat 干燥(Spray 增刊 苏程裕等：电浆熔射奈米级A120。113％(o)Ti0：微粒之涂层特性研究 85 表1 SulzerMetco A3000系统所使用之电浆熔射参数 图l电浆熔射设备之示意图 微观组织观察，在涂层试片制备完毕后，利用砂轮切割机将其切成适当之样品大小，然后将 其镶埋在树脂中，再进行研磨、抛光等工作．为获得镶埋树脂硬度与涂层硬度相当，以利获得最 好研磨品质，在树脂中添加少许玻璃砂粉末，提高树脂硬度．微观结构分析使用光学显微镜和扫 Electron 瞄式电子显微镜(Scanning Near Diffraction。XRD)及X光吸收近缘结构光谱(X-rayAbsorptionEdge M18XHF型X光绕射仪，使用之X光源为CuK射线． 量测．X-ray绕射分析所使用之仪器为SRA XANES光谱实验则于新竹同步辐射中心之BLl7C光束线以萤光模式进行检测． 3结果与讨论 3．1熔射粉体结构 热急冷后，表面出现明显熔化现象．经过局部放大后除了部份区域表面有