氦中四氟甲烷、氧化亚氮与六氟化硫混合气体标准物质的研制.pdfVIP

氦中四氟甲烷、氧化亚氮和六氟化硫 混合气体标准物质的研制 熊德权 (中国石油西南油气田分公司成都天然气化工总厂，四川成都610213) 摘要：论述了氮中四氟甲烷、氧化亚氮和六氟化硫混合气体标准物质的制备方法、性能考察、不确定 度计算，经与国内外同类标准物质比较，证明量值准确可靠、方法可行． 关键词：氮；四氟甲烷：氧化亚氮；六氟化硫；混合气体；标准物质；不确定度；比对分析 MixedReference TheResearchand of Gas Preparation Materialof oxideand in HexafluorideHelium XIONG De-quan NaturalGasChemicaIGeneraIPlantofPetrochinaSouthwest (Chengdu 1 1 OilandGasField 602 Company，Chengdu3，China) Abstract：Itintroducesthemethodof of andcalculationof of preparation，researchperformance uncertainty mixedreferencematerialof oxideandhexafluofideinhelium．Itis that gas tetrafluoromethane，nitrous proved the thereferencematerialis andthemethodof isfeasibleafter with of accurate magnitude preparation compared similarreferencematerialfromhomeandabroad． KeyWords：helium；tetrafluoromethane；nitrousoxide；hexafluoride；mixedgas；referencematerial；uncertainty； comparisonanalysis‘ 1前言1 在微电子、光电子器件生产过程中，从芯片的生长到最后器件的封装，其外延、成膜、掺杂、 蚀刻、清洗等工序都离不开电子气体。而电子气体的质量在很大程度上决定了半导体器件性能的 好坏，因此对所用电子气体的质量进行控制显得尤为重要Ⅲ。为了分析含氟系列电子气体，需使 用氦中四氟甲烷、氧化亚氮、六氟化硫、六氟乙烷、八氟丙烷、一氧化碳、二氧化碳混合气体标 准物质，为此研制了此标准物质。 本课题研制了铝合金瓶贮装的氮中四氟化碳、氧化亚氮和六氟化硫混合气体标准物质(以下 mol／m01)，并对气体标准物 简写为CF|、N：0：SF。／He)，各组分物质的量分数范围为100一1000(Il 质的稳定性和均匀性进行了考察。 收稿日期：2005．07．19 76 2．气体标准物质的制备 2．1试剂 高纯氨，99．9996％．成