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ULSI多层铜布线CMP影响因素分析研究
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刘 博 刘玉岭 孙 鸣 贾英茜 刘长宇
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河北工业大学 微电子研究所 天津 !#!
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摘要 研究了$%’ 多层互连工艺中铜布线的()* 的机理 对影响抛光速率和抛光后表面状态
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的诸因素 如抛光条件 抛光方式和抛光耗材进行了分析 特别针对抛光液对铜布线()* 的影
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响 提出了目前存在的主要问题 并对未来的研究方向和研究内容进行了展望
关键词 甚大规模集成 化学机械抛光 铜布线 抛光液
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中图分类号! 9:/8;= 9:?80. 文献标识码! @ 文章编号! (5 (1/5 .885 ’ 8=18//.18;
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