基于光热辐射测量技术的热波成像技术对非晶硅薄膜太阳能电池缺陷成像.pdfVIP

2013年全国博士生学术论坛一电子薄膜与集成器件 图l非晶硅薄膜太阳能电池结构示意图 3实验系统及测量结果 实验系统如图2所示。调制激光会聚照射到样品上，样品后表面的热辐射信号多节HgCdZnTe探头 探测到，经过前放放大后输入锁相放大器，最后由PC读出。探头前面有一个长波通滤光片(59m)，可 阻断泵浦激光以及辐射复合发射的光子进入红外探测器，保证只有非辐射复合发射的热辐射对红外探头 信号才有贡献。实验样品是‘块商业非晶硅薄膜太阳能电池，结构与图l类似。锅电极层非常薄，对于 光热信号的影响这里忽略不计。在玻璃上做了一个机械损伤点缺陷，在背面用砂纸摩擦出面缺陷。样品 放置于二维电动位移台，通过电脑控制扫描样品。 图2实验系统示意图，光斑约200p．m，扫描间距1009m 正如文献【1n门J所描述的一样，相位对比在低的调制频率下很差，包含的信息量非常少，因此实验没 80Hz，1080Hz 有采集相位信号，只采集r幅度信号。图3．(a)，(b)，(C)分别表示调制频率为20Hz，l 时，扫描的样品背面光热辐射信