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光学非接触三维形貌测量技术新进展,三维表面形貌仪,三维形貌仪,表面形貌的光学测量,三维形貌测量仪,三维形貌测量系统,三维形貌仪知识,光学分析法最新进展,三维光学扫描仪,光学三维测量
第 10卷 第5期 光学 精密工程 Vol . 10 No . 5
2 0 0 2 年 1 0 月 Optics and Precision Engineering Oct . 2 0 0 2
( )
文章编号 1004924X 2002
光学非接触三维形貌测量技术新进展
陈晓荣 ,蔡 萍 ,施文康
(上海交通大学 电子信息学院 , 上海 200030)
摘要 :三维物体表面轮廓测量是获取物体形态特征的一种重要手段 ,在机器视觉 、自动加工 、工业检测 、
产品质量控制领域具有重要意义和广阔的应用前景 。光学非接触测量由于其高分辨率 、无破坏 、数据获
取速度快等优点而被认为是最有前途的三维形貌测量方法 。介绍了光学非接触测量方法中的光切法 、
基于调制度测量的原理及优缺点 ,重点介绍了光栅投射法的测量原理 ,并分析了其研究热点与发展方
向。
关 键 词 :非接触检测 ; 形貌测量 ; 3D
中图分类号 : TB92 文献标识码 :A
时间调制 ,观察光场中携带了三维面形的信息 ,对
1 引 言 观察光场进行解调 ,可以得到三维面形数据 。由
于后一种方法具有较高的测量精度 , 因此大多数
三维曲面或三维轮廓测量技术广泛应用于工 以三维面形测量为 目的的三维传感系统都采用主
业 、科研 、国防等领域 。汽车车身 、飞机机身 、轮船 动三维传感方式 。下面简要介绍光切法 、调制度
船体 、汽轮机叶片等加工制造中的在线检测 ,特别 轮廓术 ,重点介绍光栅投射法 。
是大型工件的曲面检测一直是生产中的关键技术 2 . 1 光切法
难题 。该类工件在车间条件下一般采用靠模法测 光切法 L SM (light- section met hod) 是近年来
量 ,但可测截面少 ,测量精度低 ;在计量室条件 在激光逐点扫描法基础上发展起来的一种非接触
下采用三坐标测量机测量虽然精度较高 ,但数据 测量方法 。它用激光线光源 ,经柱面镜产生平面
采集速度低 , 测量成本高 , 且难于实现在线测 光照射在被测物上 ,在被测物表面上产生一条明
量 。鉴于接触式测量方法的局限性 ,用非接触光 亮的光带 ,通过 CCD 摄像机摄入经数字信号处理
学方法来测量物体表面轮廓形状 ,例如激光三角 可获得光带的数字图像 ,再经计算机处理即得物
法 、莫尔投影法 、工业视觉测量法等具有灵敏度 体在该光切面上的二维轮廓信息 ,若进一步沿第
高 、速度快 、获取数据多等特点 ,在三维测量中正 三维步进测量 ,就可得到物体的三维轮廓全貌 ,如
日益受到重视和广泛应用 。 图 1 所示 。
2 测量原理
从技术上看 ,光学非接触测量法可分为两类 :
一类称为被动法 ,利用图像明暗、纹理 、光流等信
息求出三维信息 ,常用于对三维 目标的识别 、理解
以及位置形态的分析 ;另一类称为主动法 ,采用结
构照明方式 , 由三维面形对结构光场的空间或 图 1 光切法原理图
Fig. 1 Schematic diagram of t h
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