用熔融织构靶制备的YBa2Cu3O7-δ超导薄膜的微观组织结构.pdfVIP

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2015-09-17 发布于湖北
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用熔融织构靶制备的YBa2Cu3O7-δ超导薄膜的微观组织结构.pdf

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用熔融织构靶制备的YBa2Cu3O7-δ超导薄膜的微观组织结构.pdf

第卷第期 !#$ %’ ($ ) % ) 稀有金属材料与工程 ..% 年 ) 月 /*/0 102*3 1*20/4*35 *(6 0(74(00/4(7 *+,-# ..% 用熔融织构靶制备的!# % ( $ ’ )* ! 超导薄膜的微观组织结构 8 8 王天生，田永君，彭炜，胡文斐，李林 9 8 燕山大学，河北秦皇岛.::..) ; 9 中国科学院物理研究所国家超导实验室，北京 8.... ; 摘要用脉冲激光蒸发熔融织构靶材在 9 ; 单晶基片上制备了超导薄膜。用射线衍射仪、透射 = 5,2- .. 8 ?@A BC FE % % D E ! 电镜和原子力显微镜分别对薄膜的微观结构和表面形貌进行了分析。结果表明，薄膜呈 ! 轴取向，薄膜中产生了一定数量的颗粒状? 杂相，且具有择优取向，而靶材中所含的? @ABC 相却没有在薄膜中形成，沉积温度升高，有利于 % G .. 8H 取向的? 的形成，但不利于G 888H 取向? 的形成，与传统的粉末烧结靶相比，用熔融织构靶制备?@A BC % % % D E ! 薄膜可以明显抑制薄膜表面颗粒的形成。关键词脉冲激光沉积；薄膜；杂相 = ?@A BC ? % D E ! % 中图法分类号：文献标识码：文章编号： 9 ; ))$ 8 * 8..E8IF ..% .)E.%. 8E.) 8.LL Q %LL Q 8LL 的5,2-% 9 52; 9 .. 8; 单晶基片 + 引言上进行薄膜的生长。薄膜生长室中保持IRA 的氧气压，靶E 基片间距为IILL 。沉积前，薄膜生长室预抽