直流电弧等离子体制备氮化物纳米粒子.pdfVIP

第14卷专辑3 中国有色金属学报 2004年10月 V01．14S3 TheChineseJournalofNonferrousMetals Oct． 2004 文章编号：1004—0609(2004)S3—0206—06 直流电弧等离子体制备氮化物纳米粒子① 关 波，傅正义，王玉成，王为民，张金咏，林华幌 (武汉理工大学材料复合新技术国家重点实验室，武汉430070) 捅 要：采用直流电弧等离子体设备(自行研制)制备金属氮化物纳米粒子，探讨了直流电弧等离子体条件下(高 的热性能、高的化学反应活性、高的冷却速率、可控的气氛)氮化反应机理和金属氮化物纳米粒子的成核、生长机 制。研究结果表明：反应温度和过饱和度及反应气体压力是影响成核、生长速率与临界成核半径的主要因素，冷 却介质是影响产物粒度的关键因素。调整适当的工艺参数，可制备出平均粒径小于20nm的AIN和小于80nm的 TiN纳米粒子，粉末粒径分布窄，形貌均匀且无团聚。 关键词：纳米粒子；等离子体；成核机制；生长速率 of metal nano-structured Preparation nitrifier DC powderby plasma GUANBo，FU Zheng-yi，WANGYU—eheng，WANG Jin-yong，Lin Wei-ming，ZHANGHua-huang (TheState I。abofAdvanced forMaterials and Key Technology SynthesisProcessing． Wuhan of 430070，China) UniversityTechnology，Wuhan Abstract：Themechanismofmetalnitrifiernaonsize wasstudiedintheDCarc grain—create powder plasmasystem ustable)．Resultsshowthatthe ofreac— (high—heat，high—reactionactivity，quick—coolingrate，ambi—adj temperature tion，extra—saturation，theofreactionand mediumsaremainfactorswhichaffectthe pressure gas cooling ratesof and radiusof nucleus．ThesefactorsmustbecontrolledinordertOattainnanosize grain—creatinggrowth，thecrystal nitrifier witha sizeof canbe nm；TiN：8—60nm)with powder high—purity．Theparticle adjusted(AIN：10—100 different DCarc