4激光干涉条纹位相进行微位移测量方法.pdfVIP

第27卷第3期 南昌大学学枉(理科版) V01．27No3 2003年9月 Journ削ofNallcharIgUn】v鲫ity(Natu础Science) Seot，2003 文章编号：l006一0464(2003)03—0299—03 一种利用激光干涉条纹位相进行 微位移测量方法 傅继武1，谈振兴1，徐旭明1，王鸣2 (1．南昌大学理学院，江西南昌330047； 2．南京师范太学枷理科学与技术学院光电技术江苏省重点实验宝，江苏南京210097) 摘要：利用激光干涉条纹的位相，提出了一种简便、快速且精度很高的微小位移的测量方法。实验表明．计算程 序是可行．测量精度可达l／360的条纹间隔．可实现光学亚微米和纳米尺度的测量。 关键词：干涉条纹；条纹位相；条纹间隔；微位移 中囝分类号：0436．1 文献标识码：A 引言 △^=紊·△A (2) 其中占=惫△L，忌=2《／^，△L为Ml镜与M2镜的光 激光干涉测量技术现已广泛应用于亚微米和纳 程差。 米尺度的测量，简单的条纹处理只能得到几分之一 的条纹间隔精度，但采用光学倍程技术、干涉条纹电 子细分技术和锁相干涉技术。在很大程度上可提高 测量的分辨率或精度，实现光学纳米干涉测 量【1-“。 本文以迈克尔逊干涉仪获取干涉条纹，利用 cCD拍摄图象，由计算机进行实时条纹位相计算， 从而测量出引起条纹位相变化的微小位移，其精度 可达l／360的条纹间隔。 圈l迈克尔逊干涉仪示意田 1基本原理 由迈克尔逊干涉仪可知，光源为He—Ne激光 器(如图1)，其干涉图纹为一组同心圆形条纹簇(如 图2)。随着M1镜的微小移动，条纹将向内收缩或 向外发散(如图3)，每移动一个条纹，对应的光程差 为V2。由于干涉条纹较粗，边缘轮廓模糊，条纹中 心位置较难判定，传统的方法为观测移动的条纹数 图2干涉条纹圉 来测量M1镜的移动距离，其精度只有几分之一的 条纹间隔。进行条纹细化是提高测量精度的有效方 法。 在同一视场点上，干涉条纹的光强为口】： 画嚏滤瓣 图3不同时刹干话干涉采纹示意图 邶Hm+掣箬…n’㈤ 1．1干涉条纹细化的算法 “∞叫“1+再”蚰’ 采用最小二乘法做二次曲线拟合‘3】对干涉条 收稿日期：2002一ll—14 基金理县：4茅省光电技术重点实验室开放基金资肋项目(Ⅺsol040)；南昌大学杖基金资助硬日(2135) 作者简介：傅继武(1962一)，男．础教授． 万方数据 300 南昌大学学报(理科版) 2003年 纹细化，(1)式可写成 细化，找出此六个点的条纹中心坐标位置。根据三 J(占)=A+B∞s占 (3) 点成一圆的性质，利用计算机应用程序，在干涉条纹 按麦克劳林公式展开成幂级数 上可画出两条清晰的定标细圆条纹(如图4)。两圆 之间的光强按径向满足正弦分布，且正好为一个周 邶)=A+B一詈舢暑扎^+(_1)”轰 期。当干涉条纹移至两定标圆线之间，亦可采用由 d2一+A