4用标准刻线与CCD直接获取运动位移的方法.pdfVIP

一种应用标准刻线与CCD直接获取运动位移的方法——李海华杨练根王选择 一种应用标准刻线与CCD直接获取 运动位移的方法 李海华1 杨练根2王选择2 1．华中科技大学文华学院，武汉，4300742．湖北工业大学，武汉，430068 摘要：将标准刺线应用到对微细物体进行高精度定位的交流伺服驱动控制系统中，提出了一种新的 直接获取运动位移的方法。调整光路使CCD获取清晰的光栅图像，对图像进行分析处理．计算出栅距 与像素之间的映射关系，再对工作台移动前后的光栅图像进行对比，采用基于李萨如图的相住差比率算 法荻取它们的像素位置差，从而计算出工作台的实际运行位移。试验结果表明，该方法能简单快速地实 现微电子加工领域亚像素级的测量。 关键词：位移测量；光栅；图像处理；李萨如图；交流伺服 中图分类号：TP751 文章编号：1004—132X(2007)23～2881一03 AMethodof StandardReticleandCCD GettingDisplacementDirectlyUsing LiHaihual Xuanze2 YangLiangen2Wang ofScience Wenhua and 1．HuazhongUniversity TechnologyCollege，Wuhan，430074 2．Hubei of UniversityTechnology，Wuhan，430068 newmethodwas forwardto movement when Abstract：A directly put get displacement applying standardreticletoACservo control to on orientationfora small driving systemcarryhighprecise very the until reticle canbecollected CCD．After object．Adjustingopticalpath grating image clearlyby and the reticle collectedCCD．the coefficientcanbeac— grating image by analyzingprocessing mapping calculatedfrom sizetO thefore—and—afttwo reticle curately grid pixels．Comparing grating images ratioarithmeticbased aftertheworktable difference onLissajOUS moved．Adoptingphase figures，the differenceoftWO willbe out．The oftheworktablecanbefurth