飞秒激光烧蚀石英玻璃的实验与理论研究.pdfVIP

第 53 卷 第 7 期 2004 年 7 月 物 　理 　学 　报 Vol. 53 ,No. 7 ,July ,2004 ( ) 10003290200453 07 221605 ACTA PHYSICA SINICA 2004 Chin. Phys. Soc. 飞秒激光烧蚀石英玻璃的实验与理论研究 邓蕴沛 　贾天卿 　冷雨欣 　陆海鹤 　李儒新 　徐至展 ( 中国科学院上海光学精密机械研究所,上海　201800) ( ) 2003 年 10 月 13 日收到;2003 年 12 月 12 日收到修改稿 　　实验研究了 800nm 飞秒激光作用下石英玻璃的破坏机理和烧蚀规律 ,给出了破坏阈值与脉冲宽度的关系. 发 展了雪崩击穿模型 ,计算了材料的烧蚀阈值与脉冲宽度的依赖关系 ,烧蚀深度、烧蚀体积与脉冲能量的依赖关系 , 研究了导带电子的扩散对材料中激光能量的沉积、分布 , 以及材料的破坏阈值和烧蚀规律的影响. 关键词 : 飞秒激光脉冲 , 破坏机理 , 石英玻璃 , 电子扩散 PACC : 4280W , 6180 激光器输出的脉冲宽度为 40fs ,通过在光路中加入 ( ) 1 引 言 非线性色散介质 ZF6 玻璃 可以在 45 —800fs 范围 内改变脉冲宽度. 激光束通过透镜后汇聚到样品的 近年来 ,人们提出了雪崩击穿模型和微爆炸模 前表面 ,焦斑直径约为 28μ m. 石英玻璃样品的原料 型来解释超短脉冲激光作用下石英玻璃的烧蚀与微 是高纯度的J G1 玻璃 ,厚为 1mm ,两面抛光. 原子力 加工[1 —7 ] . 在雪崩击穿模型中 ,导带电子是通过光致 显微镜测量表明表面粗糙度约为 10nm. 电离和碰撞电离两种途径产生的. 采用多光子电离 利用烧蚀面积与激光强度近似成对数关系的方 公式计算光致电离速率 ,这种理论处理方法仅适用 法确定材料破坏阈值 , 图 1 给出材料的破坏阈值与 2 [2 ] 脉冲宽度的依赖关系. 在几十皮秒到纳秒范围内 ,材 于激光强度 I 5TWcm 范围内 . 计算碰撞电离 公式的基础是导带电子在直流电场中的漂移和加 料的烧蚀阈值与脉冲宽度符合热烧蚀的规律 : Fth 05 速 ,即把激光场作为直流电场处理 ,这种处理方法适 τ . 当脉冲宽度 τ 10ps 时 ,破坏阈值与脉冲宽度 2 [8 ] 用于激光强度 I 10 TWcm . 目前的理论主要研 的依赖关系明显偏离这个规律 , 材料发生了雪崩 究了导带电子的产生过程 ,激光能量的沉积和材料 击穿. 的烧蚀还很少研究.