X-Y精密定位平台的敏感函数逆前馈补偿控制.pdf

第23卷第4期 光学精密工程 V01．23No．4 andPrecision 2015年4月 Optics Engineering Apr．2015 文章编号 1004—924X(2015)04—1081—07 X-Y精密定位平台的敏感函数逆前馈补偿控制 崔 晶，王迪凡 (北京工业大学机械工程与应用电子技术学院，北京100124) 摘要：针对音圈电机驱动的X-Y定位平台中稳态误差导致的系统定位精度较低的问题，提出了基于敏感函数逆的前馈 补偿控制方法。首先，采用频域辨识方法建立了系统模型，基于终值定理推导出系统扰动和稳态误差的关系，并由此设 计了敏感函数的逆模型来补偿扰动对稳态误差的影响，从而提高系统精密定位性能。最后，在搭建的音圈电机驱动x_y 定位平台上进行了不同运动行程的实验研究。实验结果表明：在行程为10且m，最大加速度为6mm／s2的微定位运动条 mm，最大加速度为6m／s2的宏定位运动条件下，定位 件下，补偿后的定位误差可由2弘113．降低到0．2pm；在行程为10 误差可由2／zm降低到0．4gm。实验结果验证了本方法的有效性，为后续高精密伺服系统的研制提供了重要参考和设 计依据。 关 键词：音圈电机；精密定位平台；敏感函数；前馈补偿 中图分类号：TH703；TP273文献标识码：A doi：10．3788／OPE1081 Feedforward controlof Y compensation precisepositioning table inversed—sensitivefunction using CUI Di—Fan Jing，WANG Mechanical and Electronics， (Collegeof EngineeringApplied 100124，China) BeijingUniversityofTechnology，Beijing author，E-mail：twdidi9005④ina．corn *Corresponding thestablestateerrorofanX-Y tabledrivenaVoiceCoilMotor Abstract：As precisepositioning by (VCM)willleadtOa feedforward methodbasedoninversed— poorpositionprecision，a compensation functionwas modelwasset basedon domain sensitive proposed．Firstly，thesystem up frequency the betweendisturbancesand stateerrorwasestablished identification，and system steady relationship final—valuetheorem．Then，aninver