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- 2015-09-20 发布于浙江
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TIN-07-407 曝光工位工艺操作指示(新2)
题目: 光刻车间—曝光机工艺
规范
康惠（惠州）半导体有限公司
文件编号： 版次：
TIN-07-407 A/2
文件种类 文件控制
GOP 运作程序 WIN 工作指示
QIN 品质控制指示 PFC 工序流程图
DWG 工程图纸 CMD 客户文件
SIN 国家/国际标准 TIN 工艺规范
部门： 签署： 日期：
编制 （生产工艺部）
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