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光谱仪的微型化及其应用
29 1 V ol. 29 No. 1
2 0 0 3 1 OP T ICA L T E CHN IQ U E Jan . 200 3
: 1002- 15 82 ( 200 3) 01-0013- 04
X
光谱仪的微型化及其应用
史俊锋 惠梅 王东生 毛文炜
( 100084)
:
;
;
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: 744. 1 : A
Micromation and applications of spectrometers
SHI Jun-feng, HUI Mei , WANG Dong-sheng, MAO Wen-wei
( State K ey Labor ator y Precision M easurem ent T echnology and In strument T sing hu a U niversity Beijing 1000 84 China)
Abstract: Compared to bulky m acroscop ic devices m icrospectrom eter h as inf er ior spectral resolution but it s sm all size and
low cost more than compensates f or this lim itat ion in m any applicatio ns. T he conf iguration trait s recent advances and develop-
m ent tendency of m icr ospectr om eter w ere review ed . T he principle f abrication techno logy of several kinds of m icrospectrom eters
w ere summ arized and in p ar ticular f easibility of design schem es considering m icro- opto- electro-m echanical system fabr icatio n
techniques in our country M any potential application w here not needing resolv ing pow er w er e discussed .
Key words : M OE M S; m icrospectrom eter; system- on chip
0
;
IC
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