30.4nm CrAlCr自支撑滤光片的研制.pdf

第21卷第2期 强 激 光 与 粒 子 束 V01．2l，No．2 2009年2月 HIGHPOWERI。ASERANDPARTICI。EBEAMS Feb．，2009 文章编号： 1001—4322(2009)02—0235—05 nm 30．4 Cr／AI／Cr自支撑滤光片的研制。 付联效， 吴永刚， 伍和云， 焦宏飞， 吕 刚， 王振华 (同济大学精密光学工程技术研究所，上海200092) 摘要：依据材料的质量吸收系数和波长的关系，选择Cr和Al设计和制备30．4nm自支撵滤光片。在 nm的Cr／AI／Cr自 制备时以NaCI为脱膜剂，以热蒸发方式蒸镀Al，以电子束蒸发方式蒸镀Cr，制备了30．4 支撑滤光膜，并对滤光片的表面缺陷进行了分析。通过显微镜观察，滤光膜均匀纯净，无明显针孔。Cr／Al／Cr 自支撑滤光片在合肥国家同步辐射实验搴进行了测量，Cr／AI／Cr厚度为5nm／500rim／5nm和12．5nm／500 nm／12．5 nm的滤光片在30．4am波长处的透过率分别为7．6％和4．6％，透过率曲线和理论计算基本一致。 用紫外分光光度计测量得滤光片在200～800nm波长范围的透过率小于0．02％，满足使用要求。 关键词：滤光膜；质量吸收系数； 自支撑}透过率； 缺陷 中图分类号：0434．2 文献标志码：A 真空紫外及软X射线滤光薄膜在天体物理、材料科学、生物医学工程、微电子及国防军工等方面有重要的 应用。在太阳磁场活动的22年周期性变化中，太阳极紫外辐射流量也具有明显的周期性变化。而太阳短波辐 射和粒子流又是形成地球电离层和产生某些地球物理效应的能量来源，因此对它们的研究有着重要意义【1]。 太阳极紫外辐射在穿越地球中高层大气过程中被完全吸收，是地球中高层大气状态扰动与电离层电子密度变 化的主要驱动能源，特别是距对地表70200km高度的大气成分加热与电离具有决定性的影响。其中心波 长为30．4，58．4和121．6nm等若干个波段太阳极紫外辐射[2]，包含了大量太阳辐射明亮谱线，辐射通量较大， 对地球中高层大气加热与电离效率显著，对太阳极紫外辐射的表征具有重要的代表性。通过对太阳极紫外辐 射的研究，可以对磁暴、空间天气和自然灾害等进行精确预测，而30．4nm极紫外辐射成像探测则是进行太阳 极紫外辐射研究的重要手段L3。]。 1基本理论 除真空之外，在极紫外波段不存在透明的介质，为此引入复折射率 磊=，z—ik (I) 式中：靠，k为复折射率的实部和虚部，实部代表入射光的相位变化，虚部代表吸收。一般称露，k为物质的光学 常数，通常分别记作咒=1一艿；惫=卢；d和卢,-Im原Y：散射参数的实部(厂o+，’)和虚部厂来表示，即 a：—Nrro—A2(厶+／) (2) (3) fl=N厶r7【oR2f,, 式中：ro—Fz／mcz一2．82×10_13 射因子，一^+ifz=fo+，7+i／，可计算出材料的光学常数。 极紫外(EUV)波段不同材料透过率T的计算公式为 T—exp(--p。lDd) (4) 式中：|D为材料的密度；d为材料的厚度；产。为特定波长处的质量吸收系数 肛-：攀一1 (5)