Fe离子注入二氧化钛复合薄膜制备及光吸收性能研究.pdf

第35卷第2期 稀 有 金 属 2011年3月 CHINESE OFRAREMETALS Mar．201I VoL35No．2 JOURNAL Fe离子注入二氧化钛复合薄膜制备及光吸收性能研究 周艳军1，一，何 芳h，王玉林1，黄远1，万怡灶1 (1．天津大学材料科学与工程学院，天津市材料复合与功能化重点实验室，天津300072；2．辽宁工业大学 化学与环境工程学院，辽宁锦州121001) 测到，说明两者结晶程度不高，以非晶形态存在；通过对溶胶凝胶法制备的Ti02薄膜注入不同剂量Fe的复合薄膜的紫外·可见吸收光谱分析 可知，由于复合薄膜中Fe304的存在，使复合薄膜紫外-可见光吸收边发生了红移，并随注入剂量增加红移增大，根据红移效果确定Fe的适 宜注入剂量为l×1017cm～。 关键词：溶胶凝胶法；Fe离子注入；TiO：复合薄膜；光吸收 1．02．017 doi：10．3969／j．issn．0258-7076．201 文献标识码：A 文章编号：0258-7076(2011)02-0249一04 中图分类号：TQll34 and ofFe Titania Composite PreparationOpticalAbsorptionImplanted ThinFilms Zhou Yiza01 Yanjunl”，HeFang¨，WangYulinl，HuangYuanl，Wan andFunctional MaterialsScienceand (I．TianjinKeyLaboratoryofComposite Materials，Schoolof Engineering， ChemicalandEnvironmental Urd。 TianjinUniversity；Tianjin300072，China；2．Schoolof En∥needng，Liaoning 121001，China) versityofTechnology，Jinzhou films fabricatedonto thenmodifiedFeintroduced the thin were substrates，and Abstract：Byusingsol-gelmethod，Ti02 quartz by andenhance of thin withion methodto the shifttovisible films．XRD， implantationpromoteabsorption re,on optie．alabsorptionTi02 statesand ofthese XPSandUV．viswereusedtocharacterizethe atomi