化学气相沉积方法制备石墨烯的研究.pdfVIP

化学气相沉积方法制备石墨烯的研究 姜 川 上海理工大学，上海市 200093） [摘 要] 近年来，碳纳米技术的研究越来越活跃。因其优异的电学、力学、热学和光学性能，受到了人们的广泛关注，并逐渐成为材料研究 领域的研究热点之一。在众多的碳纳米材料中，石墨烯是主要的研究目标。本文中我们通过化学气相沉积的方法来制备石墨烯，通过扫描电 子显微镜和拉曼光谱分析仪等设备分析其形貌、结晶性。结果表明化学气相沉积方法制备碳纳米材料过程中温度是一个重要因素。 [关键词] 化学气相沉积；石墨烯；扫描电子显微镜；拉曼光谱 1 引言 析。而在开始使用拉曼光谱分析石墨烯之前，先对拉曼光谱测石墨烯层 石墨烯一直存在理论中，直到2004 年独立存在单片层石墨烯才在 （ 数的原理进行了解。在拉曼光谱之前原子力显微镜 AFM 是最常用 [ 1] ·海姆和康斯坦丁· 实验室中被发现 。由此，英国曼彻斯特大学的安德烈 来确定石墨烯单层或少层的方法。 诺沃肖洛夫因为在二维纳米材料的突破性进展共同获得了获得2010 年 然而原子力显微镜的方法效率较低，而且如果制作的石墨烯薄膜 诺贝尔物理学奖。这更是引发了科学界对炭纳米材料的又一轮研究热潮。 有折叠或者褶皱，那么原子力显微镜只能区分单层和双层，非常不方 石墨烯目前是世上最薄却也是最坚硬的纳米材料，理论上二维材 便。相比原子力显微镜，拉曼光谱更加高效，方便，破坏少，容易实现 料是完全透明的，但由于石墨烯的特殊结构，还是会吸收2.3%的光； 大批量样品快速表征。对生长的石墨烯进行拉曼光谱分析[3]。石墨烯没 高于碳纳米管和金刚石的导热系数，说明石墨烯具有优异的热力学性 有碳纳米管的RBM 峰，判断石墨烯的层数主要通过在2700cm-1 附近 能，又具有比纳米碳管或硅晶体、金属铜或银更低的电导率，为电阻率 的2D 峰的强度和频率。 ， 最小的材料。 不同生长温度下2D 峰与G 峰的强度比值比较，可以发现 900℃ 因为它的电阻率极低，电子跑的速度极快，因此被期待可用来发 的样品具有最高的比值，说明这个温度下的样品层数最少，结晶性最 展出更薄、导电速度更快的晶体管。由于石墨烯实质上是一种透明、良 好。而其他温度的拉曼光谱图像越来越趋向于石墨。 好的导体，也适合用来制造透明导电薄膜、光板、甚至是太阳能电池。 进一步通过氢气刻蚀作用，除去生长过程中过量石墨烯，成功有 石墨烯在半导体、透明导电材料、光伏电池、生物器件等方面，即石墨 效的得到了单层石墨烯。另外，在析出生长占优时还可以通过降温速度 烯在信息领域、能源领域，传感器方面等都有长途的发展前景。 的调 ，实现少层石墨烯的生长。 但是这种纳米材料的制备方法仍然是制约其发展的重要因素。石墨 最后通过酸刻蚀的办法将金属去除，得到单纯的石墨烯。或者通 烯最早的发现是通过透明胶带剥离石墨层的办法。后来人们发明的制备 过电化学的方式在金属表面电解水，通过产生的气泡将石墨烯剥离出 方法有外延生长法、化学气相沉积法、氧化还原法、切割碳纳米管法、