反应溅射WS2MoS2C复合薄膜的摩擦磨损性能.pdfVIP

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2015-09-29 发布于湖北
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反应溅射WS2MoS2C复合薄膜的摩擦磨损性能.pdf

第20卷第3期中国有色金属学报 2010年3月、，01．20NO．3 JournaIofNonferrous Mat．2010 TheChinese Metals 文章编号：1004—0609(2010)03—0483—05 反应溅射WS2／MoS2／C复合薄膜的摩擦磨损性能周磊1，尹桂林2王玉东1，余震1，何丹农1，2 (1．上海交通大学材料科学与工程学院，上海200240： 2．上海交通大学纳米技术及应用国家工程研究中心，上海200241) (FESEM)、MFT-4000材料表面性能试验仪表征薄膜的性能以便评价薄膜的微结构与摩擦性能的关系。结果表明：与纯MoS2薄膜相比，WS2／MoS2／C复合薄膜结构致密，硬度提高一个数量级；在潮湿的大气中复合薄膜的摩擦因数更低，抗磨损能力更强。关键词：WS2；MoS2；C：摩擦性能；磨损性能文献标识码：A 中图分类号：TQl74；THll7．3 andwear of propertiesreaction—sputtered Tribological WS2／MoS2／C films composite ZHOU Leil，YINGui．1in2，WANG Yu-don91，YUZhcn’，胍Dan．non912 ofMaterialsScienceand Jiao (1．School University, Engineering，ShanghaiTong Shanghai200240，Chin； 2．National ResearchCenter Jiao University, Engineering ofNanotechnology,ShanghaiTong Shanghai200241，China) Abstract：Inorderto the of filmsunderhumid films expand WS2／MoS2 conditions，WS2／MoS2／Ceomposim application were in witha preparedAr／C2H2atmospherebymagnetronreaction—spuueringWS2／ioS2compositetarget．X-ray emission electron andMFT-4000material detector,field diffraetometer,energydispersiveX-ray scanning microscope surface testerwereusedto the betweenthemierost