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合金钢表面制备类金刚石薄膜的改性研究.pdf
《热加工工艺》2013年9月第42卷第18期
●表面改性技术●
合金钢表面制备类金刚石薄膜的改性研究
凌晓匕俞树荣1，张俊彦2
(1．兰州理工大学石油化工学院，甘肃兰州730000；2．中国科学院兰州化学物理研究所固体润滑国家重点实验室，
甘肃兰州730000)
摘要：利用磁控溅射技术在合金钢表面制备了类金刚石碳膜，采用纳米压痕仪和往复式摩擦试验机考察了镀膜
后合金钢的力学性能和摩擦学性能。结果表明：镀膜后的合金钢的力学性能和摩擦学性能有了很大的提高。同样在燃油
系统中，镀膜后的合金钢也表现出了良好的抗磨减摩性能。因此在合金钢表面沉积类金刚石薄膜以提高其性能的方法
是可行的。
关键词：合金钢；类金刚石薄膜；力学性能；摩擦学性能
中图分类号：Tilll7．3 文献标识码：A 文章编号：l001．3814(2013)18．0103-03
OilModificationofDiamond—likeFilmson SteelSurface
Study AHoy
LING
Xia01‘YU
Shuron91，乃{ANGJunyan2
ofPetrochemical 730050，China；2．State
(1．School Technology,LanzhouUniversityofTechnology,LanzhouKeyLaboratory
ofSolid InstituteofChemical
Lubrication，Lam出ou ofScience，I．,anzhou730000，China)
Physics，ChineseAcademy
carbonfilmswere on steelsurface mechanicaland
Abstract：Diamond—likedepositedalloy bymagnetronsputtering．The
ofthefilmswerecharacterizedwithnano-indenterandtribe-test．The resultsshowthatthe
tribologicalproperties experimental
mechanicaland of steelsarc steelatter alsoshowsa
Iribologicalpropertiesalloy improved．Thealloy coating good
andanti-wearbehaviorondifferentfuelconditionsaRer method the of
fiiction-reducing coating．Theimprovesproperties
steel．
alloy
words：alloysteel；diamond-likefilms；mechanicalproperties；tribological
Key properties
在工业设计中，摩擦和磨损量直接影响着生产 射沉积方法以沉积速率快、沉积过程基底温升较低
效率和机器寿命。传统的用于发动机系统中的合金 和沉积面积大等优点。被广泛应用于类金刚石薄膜
钢由于摩擦系数大、磨损高，在高强度的运行环境下 的工业生产制备中【¨”。
很容易失效，从而引起机械系统
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