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真空科学与技术学报 第31卷第2期 174 CHINESE OFVACUUMSCIENCEANDTECHNOLOGY JOURNAL 2011年3、4月 含钛MoS2合金减摩镀层摩擦学性能研究 熊学慧2徐雪波1。鲍明东1孙海林3 (1.宁波工程学院材料工程研究所宁波315016;2.秦皇岛职业技术学院机电工程系秦皇岛066100; 3.浙江汇锦梯尔镀层科技有限公司临安311305) of PropertyMoS2/TiCompositeCoatings Tribological Xuehui2,XuXuebo卜,Bao Hailin3 Xiong Mingdon91,Sun (1.Inst/tute 315016,China; ofMaterio/a踟咖l咖,N轨d,oUn/ves/tyofTechnology,Ningbo 066100,China; 2.a以啪7w锄lnst/ttaeofTechnology,Qinhuangdao Co.,Ltd.,Lin’an311305,Ch/na) 3.Zhej溉gHuijin-TeerCoatingsTechnolgy AbstractThe wel-e closedfieldunbalanced ion MoS2/Ti compositecoatingsdepositedusing magnetronsputtering substratesofM42 ofthe astheTi conditions,such plating,on hiishspI捌steel.Theimpactsdeposition fdm themechanical friction loughnes$,andthickness,on coefficient, rate,sputteringpower,surface properties,including studied.TheresultsshowthattheTicontent af- surfacehardness,andwealresistance,were experimentally significantly themechanical the Ticontent surfacehard一 fects of increases,the propertiesnoS2/Ticompositecoatings.Forexample,as /lessof incre

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