AgAl共掺杂ZnO薄膜的结构及其光学性能的研究.pdf

· · 金属铸锻焊技术 上半月出版 Casting Forging Welding Ag-Al 共掺杂ZnO 薄膜的结构及其光学 性能的研究 马正洪 谭红琳 艾国齐 , , 昆明理工大学 材料科学与工程学院 云南 昆明 ( , 650031) 摘 要：采用溶胶 凝胶工艺在普通玻璃基片上制备了 + 、 3 +共掺 薄膜，通过 、紫外分光光度计和金 - Ag A1 ZnO XRD 相显微镜等设备，研究了掺杂 和 对半导体 薄膜组织结构和光学性能的影响。 结果表明，掺杂 和 对 Ag Al ZnO Ag Al 薄膜结构和光学性能的影响因浓度不同而有差异。 + 、 3 +掺杂浓度为 时，摩尔比为 ；固定 + 浓度为 ZnO Ag A1 1% 4 ∶ 1 Ag ， 3 +浓度为 ； + 、 3 +浓度为 ，摩尔比为 ，提拉次数 次时， 薄膜的结构、透光率最好。 1.5% A1 0.5% Ag A1 3% 4 ∶ 1 15 ZnO 关键词：溶胶 凝胶； 掺杂 薄膜； 晶体结构； 透光率 - ZnO 中图分类号： 文献标识码： 文章编号： TG113.22 A 1001-3814(2011)03-0033-03 Ag-Al Co-doped ZnO Thin Films and Their Optical Properties MA Zhenghong, TAN Honglin, AI Guoqi (Department of Materials, Kunming University of Science and Technology, Kunming 650031, China) + 3 + ： Abstract Ag , A1 co-doped ZnO thin films were prepared on glass substrate by sol-gel process. The microstructure