微纳米加工技术及其应用综述.pdfVIP

维普资讯 微纳米加工技术专题 微纳米加工技术及其应用综述术 崔 铮 (共围卢瑟福 国家实验窜微结卡勾I{心) 摘 要 材料与结构在微纳米尺度展现 n年多不同j宏观尺度的新特征，纳米技术已经成为当}i{科『学研究与工 业开发的热fJ领域之一。微小 化依赖 J微纳米尺度的功能结构与器件，实现功能结构微纳米化的基础是先进 的 徽纳米加_L技术，文章列徽纳米加_L技术做丁一个综合的介绍，简要说明了微纳米加__l技术与传统加__J技术的区 别 在傲纳米加 I技术的应用方面提…J一些合理选择加 ]技术的原则 ．并埘当前微纳水加T技术面临的挑战和 今后发展的趋势作 1’预洲． 关键词 微纳米技术，微纳米加工，微系统技术，微小型化 Overview ofmicro／nanofabricationtechnologiesandapplications CUIZheng十 (1Cuthegbrgap#ao,~La~ratory， ，llmfMicrostructureFacility ￡0l『， dcDf，OxonOxllO)‘，￡ ) Abstract 】thas1)eenrevcale~jthatmaterialsancjstmeturesonthemicroantjnanometerscaledemonstrate manycharaoteristicsdifferentfrom theirmacrodimensions．Nanotechnologyhasbecomeahottopicincurrent researehand；n~strialapplications。Minialurisationreliesonfimctiona]【slruclm-esanddevicesefmicroand nanometerdimensions。Anoverview ispresemed ()fmicro／llanofatbricafiontechnologieswhicharethebasisfor therealisalionofmicro0a1【rJnanoscalestructures．A briefdescfiplion0fthedifferencebetweensuchfabrication andconventionalmachiningisgiven，amlafwp n(iplesOFIhow Iochooseallappropriatemicro／nanofabrica-- tionlechnologyofraspecificapplicationaresuggested．CuITerflchallengesarepmsemed，togetherwithapre— dicti~ offuturedevelopments， Keywords nlicro／lla】1otecl1nology，micm／nanofabrication，nficrosystem technology，miniaturisation 开发出直径只有 1mill的微马达，指 甲火小的微摄像 1 引言 头，豌豆大小的气相色谱分析装置，芯片上的光学平 当1947年l2月美国贝尔实验室的科学家发明 台和化学分析实验审等．如果 兑【集成电路芯片提供 r 了1界上第一只晶体管，他们不会想到5O多年后的 个系统的思考与决策的大脑，微系统投术则以各种 今天，这场由晶体管引发的微电子技术革命已经深刻 微传感器与微执行器提供 了系统的感官、手与脚，系 地影响了 代社会的 貌，由 导体微电子技术以及