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第 卷 第 期 真 空 科 学 与 技 术 != ! 年 月 ( ) != $ OB%SS1 T%LUV%UBVW.U%0VNXN)Y %0LVB =$R !!!!!! 技术交流 ! !!!!! 一种制备优质有机光学薄膜的新方法 陈国荣 唐 璜 莫晓亮 顾海华 范智勇 蔡亲佳 平贺 隆 守谷哲郎 (复旦大学材料科学系 上海 ) (日本通商产业省工业技术院电子技术综合研究所) !#$$ !#$%’%()#*+#,-,#./0 2/) 45/( 7,50/87 (/85:)/0;/= 1 1 3 6 1 9 , , , , , %’()*+,+( ./( 0*/( 1+23/+43/( )*0/3*/5/(63+( %/383(3/ - - - - 7 - 9 ( , , , ) !$%’() +$%,$-./0,(0123$(4(,5%., /7$(7$,!#$$ # * 6 8 , ./:/;303,//.’;*+1+,3/ - 7 ( , , , , ) 9-0%)(,0$-:$;)%$)% ==#4’)’)=.22;$ ?;$%$,$?@?A@@$$( 6 # , !=(,58( B(+C’4D’+E/;F’’(E’C’4+’EH+,’ ,+I+H+,/(3J3(H34D;F C/J**D E’+;33+(J+DF3(’EI3C/J**D G - - 7 G +,’;;D’+EKL3;’/; ++F/3(J4’/,/(E,/(;/,’(+,/(3J+3J/43(H34D;I3+*/( J,;/443M/3+(/(E,’;3E*/4;+4C’(3( G 7 G - G 7 7 , , , ’D ’(J’(+43;J/’,3( I344+JJ*,KL3;*;’H*4+D/:’+3J/4J+DD*(3J/3+(E’C3J’;+,/(3J’4’J,+(4*D3(’;J’(E’C3J’;/(E - - G - +3J/4D’D+,3’;K G , , , ?%.#,*= N,/(3J+3J/43(H34D N 3J/4J+DD*

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