氮气氨气的高压快脉冲放电光谱研究.pdfVIP

第21卷，第5期 光谱学与光谱分析 v01．2l，N0．5，pp637．640 ；22：王：Q旦 鲨：攀Z兰g§譬：型磐色z：i： ：兰：：生：：：：?： 氮气／氨气的高压快脉冲放电光谱研究 刘征平，王培南。，杨炜东，郑家骠，李富铭 (复旦大学物理系．三柬材料改性国家重点实验室，上梅20【1443) 摘要本文测量了氮气、氨气及其混合气体的快脉冲放电等离于体的光谱，用光谱分析方法研究了等离子 体成分及其与气压和配比的关系，并讨论了在制备氮化物时使用氮、氨混合气体的有利之处。 主韪词快脉冲放电；光谱；氮气／氨气 中圈分类号：c657．31文献标识码：A 文章编号：1000—0593(2001)05一0637．04 下也能获得较多的原子态的氮，我们尝试在氮气中掺人氯气 引 言 进行放电。选择氨气的原因在于氨气较易解离，且解离产物 中的氢还可以还原氧，这对于易氧化材料如铝．镓等的氯化物 氮化物由于具有许多特殊的物理性质，多年来一直是材 的合成是极有利的，已有一些科研小组报道了使用氨气放电 料科学十分关注的领域。近年来，由于科学家首先在理论上 合成氮化物的研究“。“。在本文中，我们采用光谱方法对氮 预言了每GM的硬度能超过金刚石而使之成为一个新的研 气，氨气及其混合气体的脉冲放电等离子体进行了研究，分析 究热点。另一方面，在光电子材料方面．Ⅲ族氮化物，如G州， r放电等离子体的成分以及氮原于离子的含量随放电气压和 氮／氨配比的变化情况。 AH等，由于具有较宽的直接能隙(3．4，6．28“)、较高的热 导率和化学稳定性，因此成为短波长光电器件十分理想的选 择对象，也成为近年来迅速发展的研究领域。 在氯化物的合成和制备过程中，理论和实验分析都表明， 原子态的氮由于比分子态的氮具有更高的化学活性而在氮化 物的合成中起着主要作用。气体放电是获得原子态氮的一个 很好的途径，因此，在合成氮化物的时候．人们采用了多种放 电方法，如微波放电、射频放电、直流辉光放电和弧光放电等。 衡量放电在氮化物合成中的作用的一个重要参数就是放电等 离子体中的原子态氮的比例。我们在过去的工作中首先采用 scllemtic the f栅 F．喀．1 di耀舢0fe坤e曲ⅨntaIsetup 了快脉冲放电的方法成功地台成了纯度很高的氮化铝…。通 spectmscopicm蹭n惦ti荡0fpu咖disclIar辞pI踟a 过与空心阴极放电和直流辉光放电的比较，我们发现脉冲放 电更有利于氯气的解离“，而且脉冲放电方法可以在几十帕 1实验 到几个大气压的很大气压范围和在几百伏到上万伏的电压范 围内进行，避免了其他放电方法中着火电压对气压和放电电 高压快脉冲放电及其光谱测量的实验装置如图l所示， 压的限制，同时，由于脉冲放电的平均功率很小．因此无需大 放电过程如下：5kv的直流高压电源通过3kn的电阻给电 功率的放电电源便可达到极大的放电电流，对放电电流的要 容量为0叭4“F的电容充电，当球隙由高压触发脉冲击穿 求和成本均很低．特别适合于配合脉冲激光烧蚀进行材料合 时，电容通过球隙放电，电容另一端储存的电能则通过真空室 成的研究。 内两电极问的气体放电释放。放电等离子体的辐射通过两块 在制备纳米材料的时候，材料合成的尺寸大小与背景气