氧分量对柔性衬底上WOx薄膜性能的影响.pdfVIP

助 锨 财 斟 氧分量对柔性衬底上WO。薄膜性能的影晌’ 唐 武，范 芸，李海霞，翁小龙，邓龙江 (毫子徭技大学电子薄膜与集成器l辛圈家重点实验室，西雕成郝610054) 摘要： 通过射频磁控溅射方法，在柔性PET衬底 过对薄膜的微观结构、透光率以及XPS分析来研究薄 上低温沉软电致变色WOz薄骥。利用X射线衍鼓貘酶综会。陵施。 (XRD)、萦，p一可见竞分光光度计、X射线光电予能谱 2 实验 (XPS)分析所制备薄臌的微观结构、透光率、O元素的 结合状态。结果表明，各氧分量下制备的wo。薄膜均 2．1薄膜制备 为{}晶态；氯分量0鼙爨备舔藩溪簧、运色态透竞事变 采矮聪L560F登舞囊空多功糍遨控专离子束联 化范围达到25％左右，具有较好的电致变色性能；XPS 分析表明氧分量8％时氧空位含繁最低，随着氧分量 t 的继续增太，氧空位含嫠也增大。 钨羯瓷羝，遴过射羧磁控溅鬟方法裁备WOUITO薄 关键词： w瓯薄膜；低温沉积；瞧致变色；辩频磁控 膜。真空盛采用循环冷却水系统，极限真空魔为6．6 溅射 X10—5Pa。铍膜前，衬底先用洗涤剂去除油垢，然后分 中图分类罨：0484．4 文献橼识码：A 别用去离予水、丙酮、冤承乙醇在越声器串清洗2rain， 文章缡号：1001—973lf2008；12一1968—03 最后鹰氮气将衬底表丽欢予。镀袋时，背景粪空度秀 1 引 嵩 wo。薄貘是最其蹇{皂表性的元秽￡毫致交色誊君辩， l善()薄貘方医鸯14轮／口，箕奏嶷黟懿导毫耋乏，瀵跫 常见的裁锯方法有溅射法、蒸发浚、离子辅髓沉积法、 WO，薄膜电致变色中把ITO薄膜作为电极的要求； 溶胶凝胶法等Ll“]。假如果针对鬃性塑料村底，薄膜 在改变O。分压的情况下制备W0。薄膜，其溅射气压 姻附着性饕求更高，嗣时塑料具有誉耐高温的特点，采 蕉一觳戆涮备方法难敬在塑褥褥褒主麓鍪毫爨量豹毫 2。2电致变色实验 致变色薄膜口“]。而射频磁控溅射法具有基片温升 低、膜层均匀性及附蔚力好、工艺参数易控制等优点， 薄膜的电致变色殿应实验在玻璃器皿中进行，以 毽鼗象频磁控溅射法制备wo。薄膜是一静非常有效 地研究手段转叫“。前期研究者多采用纯金属鹤作为溅 射靶n“，考虑到纯金属钨造价较高，本文采用相对廉 溶液作为电解质，两电极之间加上1．2V的恒电压，通 价豹三氧化钨陶瓷靶材来制备w()。薄膜。 过改变电服的极性来控制薄膜的羲色和退色。 毫致变色是獾在终麓毫场俸羯下，耪籽麓光学淫 强l拳出了薄貘整色遗程孛颜色盘浅蘩深懿变 能发生可逆的变化的现象，直观地表现为材料的颜色 化，原始态的Wq薄膜呈现轻微的监色，如图1(a)所 和透明度发生可逆变化的过程n“。WO；薄膜是目前 示，电致变色反应过程中，着色时，薄膜颜色逐渐变深， 辫宠褥较多鹃一静毫致变色材褥，窀具有着色效率高， 磐墨l(b)袋示，蓬反应瓣趣豹延长，薄膜颜色持续变 霹逆性好、响应时闻短、寿命长、成零低等优点，符合未 化，由淡蓝变为最终的篮黑，如圈l(c)所示；退色反应 来智能材料的发展趋势，在汽车后视镜与挡风玻璃、各 中，薄膜颜色逐渐褪去，由蓝黑色义重新变为原色，但 种平板显承器件¨4““、电色储存器绎、电致变色灵巧 熬色比原始态稍深，呈骚擞的淡蓝色图1(f)掰示。当 窝n孵等矮域有着菲常广瘸的痉露翡景。