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GaN载流子浓度和迁移率的光谱研究
第 卷 第 期 年 月 物 理 学 报 ， ， ，
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!#载流子浓度和迁移率的光谱研究
李志锋 陆 卫 叶红娟 袁先璋 沈学础
（中国科学院上海技术物理研究所，红外物理国家重点实验室，上海 ）
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（ 年 月 日收到； 年 月 日收到修改稿）
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用红外反射光谱的方法对生长在蓝宝石衬底上的 外延薄膜的载流子浓度和迁移率进行了研究 通过测
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量蓝宝石衬底和不同 掺杂浓度的一系列 外延膜的远红外反射谱并进行理论计算和拟合，得到 中的声
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子振动参量和等离子振荡的频率及阻尼常量，并由此计算得到其载流子浓度和迁移率 计算结果，红外方法得到的
载流子浓度与 测量相一致，但迁移率比 迁移率要低约二分之一 同时红外谱与喇曼谱上明显观察到
4.55 4.55 ’6
声子与等离子体激元耦合模，（ ）随掺杂浓度的变化
’77
关键词： 外延薄膜，红外反射光谱，载流子浓度，迁移率， 声子与等离子体激元耦合模，
!2%.3 ’6
光谱
8.9.:
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，简称 ）耦合模，并展示了自由载流子
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