GaN载流子浓度和迁移率的光谱研究.pdfVIP

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2015-09-30 发布于重庆
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GaN载流子浓度和迁移率的光谱研究.pdf

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GaN载流子浓度和迁移率的光谱研究

第卷第期年月物理学报，，， L0 # ! # TE5L03E#M--DF! C ／／（）／ /2$!0!L0# /1/L21 M+RM74S)B+M)B3B+M !+,(:7,D)EI U !!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!! !#载流子浓度和迁移率的光谱研究李志锋陆卫叶红娟袁先璋沈学础（中国科学院上海技术物理研究所，红外物理国家重点实验室，上海） !#$ %’( )*+,-. （，， !#$%$$’( *+$’,%+-#.’#’+,/0+12%’’,% 4+$%(+-5%6’,#%$ ( 8%+(,’ ) 3 3 7 ) 39 ，） /:’$.%1’;,’#/’$ 8%+(,’ //0!1 3 39 （年月日收到；年月日收到修改稿） /000 /! 0 ! / !$ 用红外反射光谱的方法对生长在蓝宝石衬底上的外延薄膜的载流子浓度和迁移率进行了研究通过测 !2%.3 量蓝宝石衬底和不同掺杂浓度的一系列外延膜的远红外反射谱并进行理论计算和拟合，得到中的声 )( %.3 %.3 子振动参量和等离子振荡的频率及阻尼常量，并由此计算得到其载流子浓度和迁移率计算结果，红外方法得到的载流子浓度与测量相一致，但迁移率比迁移率要低约二分之一同时红外谱与喇曼谱上明显观察到 4.55 4.55 ’6 声子与等离子体激元耦合模，（）随掺杂浓度的变化 ’77 关键词：外延薄膜，红外反射光谱，载流子浓度，迁移率，声子与等离子体激元耦合模， !2%.3 ’6 光谱 8.9.: ：，， $% ;#$ ;#1 ;$1= ，简称）耦合模，并展示了自由载流子