GaN载流子浓度和迁移率的光谱研究.pdfVIP

GaN载流子浓度和迁移率的光谱研究.pdf

  1. 1、本文档共8页,可阅读全部内容。
  2. 2、原创力文档(book118)网站文档一经付费(服务费),不意味着购买了该文档的版权,仅供个人/单位学习、研究之用,不得用于商业用途,未经授权,严禁复制、发行、汇编、翻译或者网络传播等,侵权必究。
  3. 3、本站所有内容均由合作方或网友上传,本站不对文档的完整性、权威性及其观点立场正确性做任何保证或承诺!文档内容仅供研究参考,付费前请自行鉴别。如您付费,意味着您自己接受本站规则且自行承担风险,本站不退款、不进行额外附加服务;查看《如何避免下载的几个坑》。如果您已付费下载过本站文档,您可以点击 这里二次下载
  4. 4、如文档侵犯商业秘密、侵犯著作权、侵犯人身权等,请点击“版权申诉”(推荐),也可以打举报电话:400-050-0827(电话支持时间:9:00-18:30)。
  5. 5、该文档为VIP文档,如果想要下载,成为VIP会员后,下载免费。
  6. 6、成为VIP后,下载本文档将扣除1次下载权益。下载后,不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们
  7. 7、成为VIP后,您将拥有八大权益,权益包括:VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
  8. 8、VIP文档为合作方或网友上传,每下载1次, 网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等,对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档
查看更多
GaN载流子浓度和迁移率的光谱研究

第 卷 第 期 年 月 物 理 学 报 , , , L0 # ! # TE5L03E#M--DF! C / / ( )/ /2$!0!L0# /1/L21 M+RM74S)B+M)B3B+M !+,(:7,D)EI U !!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!! !#载流子浓度和迁移率的光谱研究 李志锋 陆 卫 叶红娟 袁先璋 沈学础 (中国科学院上海技术物理研究所,红外物理国家重点实验室,上海 ) !#$ %’( )*+,-. ( , , !#$%$$’( *+$’,%+-#.’#’+,/0+12%’’,% 4+$%(+-5%6’,#%$ ( 8%+(,’ ) 3 3 7 ) 39 , ) /:’$.%1’;,’#/’$ 8%+(,’ //0!1 3 39 ( 年 月 日收到; 年 月 日收到修改稿) /000 /! 0 ! / !$ 用红外反射光谱的方法对生长在蓝宝石衬底上的 外延薄膜的载流子浓度和迁移率进行了研究 通过测 !2%.3 量蓝宝石衬底和不同 掺杂浓度的一系列 外延膜的远红外反射谱并进行理论计算和拟合,得到 中的声 )( %.3 %.3 子振动参量和等离子振荡的频率及阻尼常量,并由此计算得到其载流子浓度和迁移率 计算结果,红外方法得到的 载流子浓度与 测量相一致,但迁移率比 迁移率要低约二分之一 同时红外谱与喇曼谱上明显观察到 4.55 4.55 ’6 声子与等离子体激元耦合模,( )随掺杂浓度的变化 ’77 关键词: 外延薄膜,红外反射光谱,载流子浓度,迁移率, 声子与等离子体激元耦合模, !2%.3 ’6 光谱 8.9.: : , , $% ;#$ ;#1 ;$1= ,简称 )耦合模,并展示了自由载流子

文档评论(0)

wannian118 + 关注
实名认证
文档贡献者

该用户很懒,什么也没介绍

1亿VIP精品文档

相关文档